単体(スタンドアローン)あるいは、他の装置と連携して動作するものを装置としております。基本的に1から作りますので様々なカスタマイズが可能です。ユニット装置や真空チャンバーに取り付けて、プロセスに重要な役割を果たすものをユニットとしています。各種プラズマ源、成膜あるいは計測装置などがこれに該当します。使用にあたっては真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。コンポーネンツ回転導入機やビューポートなど、プロセスに補助的な役割を担う部品類です。*製品の説明において使用される各社名、各製品名は、各社の商標です。