企業で働くエンジニアの方を対象に、プラズマ技術の基礎と産業への応用について講義します。本セミナーでは、できるだけ式は使わず、図、単位、および等価回路を用いてプラズマを表現します。真空のプラズマに関しては、容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP)、磁気中性線放電(NLD)プラズマ、電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ等を例に挙げ、その原理と装置例について講義します。大気圧プラズマに関しては、コロナ放電、バリヤ放電、沿面放電等の放電形式の説明をします。プラズマプロセシングで重要なシースについてもお話します。ドライエッチングに関し、エッチング速度とプラズマパラメータの関係を説明します。大気圧プラズマの応用例として、材料表面プロセス、プラズマ環境応用、プラズマ滅菌、プラズマ農業等の説明を致します。03-5322-5666こちらのセミナーは受付を終了しました。次回開催のお知らせや、類似セミナーに関する情報を希望される方は、以下よりお問合せ下さい。各種お問い合わせは、お電話でも受け付けております。