貯蔵容器に接近させて少なくとも1個の加熱手段を配置しを一致点として認定している。本願発明では,加熱手段は,加熱手段と貯蔵容器間で絶縁体として作用する空気ギャップを極力排除して熱伝達を高めるため,貯蔵容器に接近して配置される。これに対し,引用例には,従来技術及び解決課題として,ガスシリンダーと直接接触するように置かれ,シリンダー回りを被覆する加熱/冷却ジャケットを使用すると,シリンダーの温度が環境温度よりも高くなり,あるいは,過熱に伴う再濃縮の欠点があるため,その使用は好ましくなく,そのような加熱/冷却ジャケットを使用することのない方法を提供する旨の記載がある。このような記載事項からすると,引用発明では,貯蔵容器内の液体温度が環境温度を超えないようにするため,伝熱速度増加手段として,貯蔵容器に直接接触したり,貯蔵容器を被覆するものは避けられるものであり,したがって,伝熱速度増加手段は貯蔵容器に接近させて配置するものではないことは明らかである。したがって,審決における引用発明と本願発明との対比及び一致点の認定には誤りがあり,上記の点を相違点として挙げなかったことも誤りである。使用される」点を一致点として認定している。本願発明は,圧縮ガス貯蔵容器の壁に配置した温度測定手段によって得られる容器表面の温度と,貯蔵容器の出口に配置した圧力測定手段によって得られる容器圧との両方に基づいて加熱手段の出力を調整し,これにより,液体の沸騰を自由対流及び核沸騰型に制限して貯蔵容器壁から液体への熱伝達を最適にするものである。これに対し,引用発明では,主に圧力センサー310によって得られるシリンダー312の出口の圧力に基づいてコントローラー314が伝熱速度増加手段308を制御(調整)している。」】記載されるように,単なる温度に関するリミッターである。調整しているということはできない。シリンダー過熱センサーは,容器圧とは無関係に機能するものであって,温度と圧力の双方に基づく調整ではない。シリンダー過熱センサーは,所定の温度リミットを越えたときにコントローラーを無視するような制御を行っているのであるから,この制御は圧力情報を取り扱うコントローラーを介しては行われていない。引用発明と本願発明との対比・一致点の認定には誤りがあり上記の点を相違点として挙げなかったことも誤りである。))ーに関する記載がある旨主張するが,この記載は,本願発明における「温度測定手段及び圧力測定手段は,加熱手段の出力を調整するために使用される」の具体例ではない。取消事由2(相違点に関する判断の誤り)本願発明では,上記1(2)のとおり,温度測定手段を圧縮ガス貯蔵容器の壁に配置して測定した容器表面温度と,圧力測定手段で測定した容器圧との両方に基づいて,液体の沸騰を自由対流及び核沸騰型に制限して貯蔵容器壁から液体への熱伝達が最適になるように加熱手段の出力を調整する。)平10-26298号公報(甲5)には記載されていない。引用発明における「シリンダー過熱センサー316」は,上記1(2)で述べたように単なる温度リミッターであり,圧力情報を取り扱うコントローラー314を介しての制御は行われていない。そのため,引用発明のシリンダー過熱センサー316をガスシリンダーの壁に配置して温度を測定し,相違点1及び2のように構成することは,当業者が容易になし得たものではない。)-26298号公報(甲5)を参照しても,当業者は本願発明を容易に想到し得ない。取消事由1に対し(1)引用例には,伝熱速度増加手段である「ヒーター」がガスシリンダーに接して配置され,ガスシリンダーを加熱していることを示す記載がある。したがって,引用発明は,ガスシリンダーに接近させて少なくとも1個のヒーター,すなわち伝熱速度増加手段を配置する構成を具備しており,本願発明における「貯蔵容器に接近させて少なくとも1個の加熱手段を配置し」に相当する構成を具備しているといえる。」】リンダーの温度が所定温度を越えたときに伝熱速度増加手段による加熱を止め,シリンダー温度が所定温度を越えないようにすることが示されている。引用発明の「シリンダー過熱センサー」は,本願発明と同様にガスシリンダーの温度を測定するという機能若しくは作用を奏するものであるから,本願発明の「温度測定手段」に相当するものであるし,シリンダー過熱センサーにより測定されるシリンダーの温度が所定温度を越えないように伝熱速度増加手段の出力を調整するものであるといえる。出力を調整するために使用される」との構成は,本願発明における「温度測定手段」は「加熱手段の出力を調整するために使用される」との構成に相当するから,引用発明は,本願発明の「温度測定手段及び圧力測定手段は,加熱」。相当する構成を具備しているといえるなお,原告が主張するように,引用発明のシリンダー過熱センサーが温度に関するリミッターであるとしても,本願明細書には,これと同様に,トンコンテナの温度を制限するリミッターとして用いられる赤外表面温度センサーが示されている。」に相当する構成を具備していることに変わりはない。以上のとおり,審決における引用発明の認定,本願発明と引用発明との一致点及び相違点の認定に誤りはない。)から,原告の上記主張は,本願発明の構成に基づくもの。原告は,引用発明における「シリンダー過熱センサー316」は,単なる温度リミッターであり,圧力情報を取り扱うコントローラー314を介しての制御は行われていないことから,引用発明のシリンダー過熱センサー316をガスシリンダーの壁に配置して温度を測定し,相違点1及び2のように構成することは,当業者が容易になし得たものではない旨を主張している。上記1で主張したとおり,引用発明の「シリンダー過熱センサー」は,本願発明の「温度測定手段」に相当するものであって,引用発明は,本願発明の「温度測定手段及び圧力測定手段は,加熱手段の出力を調整するために使用される」に相当する構成を具備している。本願発明においても「シリンダー過熱センサー及び圧力センサーは,伝熱速度増加手段の出力を調整するために使用される」と特定されているのみで,圧力情報をどのように取り扱って制御するかは何ら特定されていないから,原告の主。審決は容器の温度測定の技術分野において「貯蔵容器の壁に温度測定手段を配置して温度を測定する」ことは周知技術であることから,これを引用発明に用いて,引用発明のシリンダー過熱センサー(温度測定手段)をガスシリンダー(貯蔵容器)の壁に配置し,本願発明の相違点1に係る構成のようにすることは当業者にとり格別な困難性のないものであり,容易になし得たものであると判断したものであって,この審決の相違点1の判断に誤りはない。以上のとおり,審決の相違点に関する判断に誤りはない。】,】,おりのものと認められる。本願発明は,高純度半導体ガスを高流量で送出するための方法等に関するものであって,液化圧縮ガスの温度制御法とされている。液化ガスの貯蔵容器から蒸気となったガスを送出すると,圧力の低下を補うために液化ガスが蒸発し,液化ガスの温度が低下するため,外部の装置を介して液化ガスにエネルギーを供給する(加熱等を行う)必要があるが,従来技術では,既存の圧縮ガス貯蔵源に適応することができず,追加的な装置を必要とするなどの欠点があることから,本願発明は,?貯蔵容器からの蒸気(ガス)の抜出しを容易にし,?貯蔵容器壁から液化ガスへの最適な熱伝達を可能にする制御戦略を提供し,?プロセスラインにおける液滴の形成を最小限にしながら高い蒸気流量を送出する方法を開発することを解決すべき課題とするもので,課題解決の手段として,液化圧縮ガスの貯蔵容器に接近させた加熱手段を設け,貯蔵容器の壁に温度測定手段を配置して容器内の圧縮ガスの温度を測定し,また,貯蔵容器の出口に圧力測定手段を配置して容器圧を測定し,測定した温度及び圧力に基づいて加熱手段の出力を調整するものである。】,】,】,導体製造工業等において用いられる,液化状態から高純度ガスを制御配給するシステムに関するものであって,シリンダーに貯えられた液化状態の高純度ガスを,ヒーター等の伝熱速度増加手段により加熱して処理ツールに供給するが,その際,シリンダー出口の圧力を圧力センサーで読み取り,これに基づいて伝熱速度増加手段の出力を調整し,また,シリンダー過熱センサーを設けて,所定の温度リミットを超えたときに圧力に基づく調整を無視するようにすることで,液化状態のガスの温度がシリンダー周辺の温度より高くならないように制御することができる発明が記載されているものと認められる。誤りである旨主張する。)等の記載によれば,引用発明の伝熱。】速度増加手段(ヒーター)がガスシリンダーに接近して配置されていることは明らかである。したがって,原告の上記主張は理由がない。これにより液体の沸騰を自由対流及び核沸騰型に制限して貯蔵容器壁から液体への熱伝達を最適にするものであるという本願発明に関する主張を前提として,引用発明のシリンダー過熱センサーは本願発明の温度測定手段に相当せず,加熱手段の出力を調整するために使用されるものでもないと主張する。騰型に制限して貯蔵容器壁から液体への熱伝達を最適にする」ことに関する特定はない。】)斟酌したとしても,本願発明の「調整」が原告の主張するような構成で限定されたものと読み取ることはできない。したがって,原告の上記主張は,本願発明の構成に基づく主張とはいえず,これを採用することはできない。原告は,引用発明のシリンダー過熱センサーについて,安全の観点から設置され,加熱手段の運転を非常停止するための装置であるから,伝熱速度増加手段の出力を調整するためのものではないなどとも主張する。)というものであることが認められる。「制御手段」は温度についても制御対象としているのであるから,引用発明においては,シリンダー過熱センサーによって測定された温度が所定の値を超えたときにコントローラーを無視する,すなわち圧力に基づく調整(加熱)を行わないものとすることも,制御手段による制御の一環として位置付けられているものといえる。シリンダー過熱センサーは,上記のとおり,温度が所定の値(リミット)を超えたときに加熱を止めるものであるが,技術常識に照らすと,温度が低下した場合にはコントローラーによる制御に復帰するものと解されるから,測定した温度に基づきコントローラーを介した伝熱速度増加手段の調整が行われているといえる。したがって,引用発明においても,測定した温度に基づく調整は行われているといえるし,この調整は圧力に基づく調整とも関連し,コントローラーを介して行われているということができるのであって,審決における引用発明の認定,これと本願発明との対比,一致点・相違点の認定に原告主張の誤りはない。以上のとおり,取消事由1には理由がない。取消事由2(相違点に関する判断の誤り)について原告は,取消事由1においてした主張,すなわち,本願発明が,測定した圧力及び温度に基づいて加熱手段の出力を調整し,これにより,液体の沸騰を自由対流及び核沸騰型に制限して貯蔵容器壁から液体への熱伝達を最適にするものであるという主張や,引用発明のシリンダー過熱センサーは伝熱速度増加手段の出力を調整する手段ではないという主張を前提として,これらの点を考慮すると,相違点1及び2に係る本願発明の構成とすることは,当業者にとって容易とはいえない旨主張する。上記3で説示したとおり,原告が前提とする上記主張はいずれも採用することができない。)報(甲4)及び特開平10-26298号公報(甲5)の記載に照らし,容器の温度測定の技術分野において「貯蔵容器の壁に温度測定手段を配置して温度を測定すること」は,周知技術であると認められるから,これを引用発明に適用して,相違点1に係る本願発明の構成とすることは,当業者にとって容易であったといえる。相違点2についても,上記特開平8-21560号公報及び特開平10-26298号公報の記載に照らし,容器の温度測定の技術分野において「貯蔵容器内の物質の温度を測定する」ことは,周知技術であると認められるから,これを引用発明に適用して,相違点2に係る本願発明の構成とすることは,当業者にとって容易であったといえる。したがって,相違点1及び2に関する審決の判断に誤りはない。原告は,審決が認定した相違点1及び2以外にも,取消事由1で主張した点が相違点として認定されるべきであり,これらの点についても当業者にとって想到容易とはいえないと主張するが,審決における相違点の認定に誤りがないことは上記3で説示したとおりである。したがって,取消事由2についても理由がない。以上によれば,原告主張の取消事由はいずれも理由がない。