TSに載置された半導体ウエハWを吸着する保持面16Aを備えた保持プレート16と、この保持プレート16に相対する基準プレート17と、この基準プレート17に支持されて保持プレート16の傾きを調整するボルト18a、18b、18cを含むボルト群18と、保持プレート16の上面に設けられて各ボルトと選択的に当接する調整ブロック19a、19b、19cとを備える。ボルト群18は、保持面16Aと各テーブルTの載置面毎にウエハWの被保持面Waとが平行となる状態で、何れか一のボルトが調整ブロックに当接するように設定しておくことで、ウエハWに対して平行に接触してウエハWを搬送する。前記保持プレートを揺動させることで各載置面に応じた傾きを調整して前記保持プレートと板状部材の被保持面とを平行とした状態で接触し当該板状部材を保持して搬送することを特徴とする搬送方法。半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の搬送装置としては、当該ウエハの中央部若しくは周方向複数箇所を吸着することのできる吸盤からなる吸着保持手段が知られている。裏面研削によって数十μmの厚みとなる極薄化が達成されている現状において、従来装置による吸着保持方式を採用すると、ウエハに作用する局所的な吸着力により、当該ウエハを割ってしまう、という不都合を招来する。そこで、ウエハを面で吸着保持が可能なポーラス体が頻繁に使用されるようになった。この様なポーラス体は、極小径の金属球を焼結し、研磨によって精度の高い保持面を有するため、ウエハに対して局所的に力が加わることは少ない。金属製であるが故にこのポーラス体が傾いてウエハに接触した場合や、接触時の衝撃によって当該ウエハを損傷させてしまう、という不都合を生じる。特許文献1には、ウエハを吸着して保持する吸着面を有する吸着パッドと、この吸着パッドを変位可能に支持する支持機構と、前記吸着パッドを移動させる移動アームとを備えた搬送装置が開示されている。この搬送装置は、ウエハの載置面を有するテーブルが吸着パッドの吸着面に対して傾きを有している場合に、その傾きに応じて支持機構を予め調整可能に設けたものである。【0005】しかしながら、特許文献1に記載された搬送装置にあっては、二つのテーブル間でしかその効果を発揮することができない。従って、三つ以上のテーブル間でウエハを搬送する場合において、それぞれのテーブルに個性的な傾きがある場合には、その傾きに対応できないものとなり、結果的に、ウエハを損傷から保護することはできない。【0006】[発明の目的]本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材を搬送するに際し、当該板状部材が載置される載置面毎に異なる傾きがあっても、それら傾きに対応するように保持部材と板状部材との傾きを調整し、それらが平行となった状態で当該板状部材に接触して当該板状部材を搬送することのできる搬送装置及び搬送方法を提供することにある。前記調整部材は、複数個を一ユニットとして前記基準プレートに配置されるとともに、各ユニットにおける調整部材を保持プレート側に選択的に当接させることで前記保持プレートの傾きを調整する、という構成を採っている。前記各ユニットにおける調整部材とが選択的に当接して前記保持面の傾きが調整されるように設ける、という構成を採ることができる。【0009】また、前記基準プレートと保持プレートは平面内で相対回転可能な構成が採用される。前記保持手段は、緩衝手段を介して前記駆動手段に支持されている。前記保持プレートを揺動させることで各載置面に応じた傾きを調整して前記保持プレートと板状部材の被保持面とを平行とした状態で接触し当該板状部材を保持して搬送する、という方法を採っている。本発明によれば、複数の調整部材を一ユニットとし、各ユニットにおける調整部材が選択的に保持プレート側に当接することで保持プレートと板状部材の被保持面とが平行となって接触する。従って、前記ユニットにおける調整部材の数の分に対応した載置面毎にその傾きを調整することができ、適用範囲を拡大することが可能となる。保持プレートに当接位置調整部材を設けることにより、保持プレート自体に特別な加工を必要とすることを回避することができる。保持プレートと基準プレートとを相対回転可能に設けたことにより、周方向に所定角度相対回転する毎に調整部材と保持プレート側との当接点を変更してその傾き調整を行うことができる。保持手段と駆動手段とが緩衝手段を介して連結されていることで、保持面と板状部材の被保持面とが接触した際の衝撃も吸収されるので、板状部材を割ってしまうような不都合は生じない。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1には、本実施形態に係る搬送装置の概略斜視図が示され、図2には、その要部拡大斜視図が示されている。図3、図4には、搬送装置の要部概略側面図が示されている。側面視が一部変更されて表されている。これらの図において、搬送装置10は、テーブルTの載置面TSに載置された板状部材としてのウエハWを保持する保持手段11と、この保持手段11の上部位置に併設された平行調整手段12と、保持手段11を平行調整手段12と共に移動して前記ウエハWを搬送する駆動手段13と、当該駆動手段13と前記保持手段11との間に位置して当該保持手段11を揺動可能且つ昇降可能に支持する連結手段14と、保持手段11がウエハWを保持する際やウエハWを別の載置面に載置する際の衝撃を吸収若しくは緩和する緩衝手段15とを備えて構成されている。ここで、ウエハWは、テーブルTに載置され、その上面が被保持面Wa、下面が被載置面Wbとされる(図3参照)。前記保持手段11は、図3及び図4にも示されるように、ウエハWの保持面16Aを下面側に有するポーラス体によって形成された保持プレート16を備えて構成されている。この保持プレート16は吸着板であり、前記保持面16Aに図示しない複数の吸着孔が形成されているとともに、これら吸着孔は図示しない減圧装置に接続されている。本実施形態における保持プレート16はウエハWの直径よりも大きい直径を備えたものが採用されているが、少なくともウエハWの平面形状に略対応した大きさを備えたものであれば足りる。12は、保持面16Aと被保持面Waとを平行に調整して前記保持面16AによるウエハWの搬送を可能とするものである。この平行調整手段12は、前記保持プレート16に対して相対配置された基準プレート17と、この基準プレート17の外周近傍位置で当該基準プレート17を貫通して保持プレート16に向かって突出する調整部材としてのボルト群18と、前記保持プレート16の周方向に沿って配置された当接位置調整部材としての調整ブロック群19とからなる。前記ボルト群18は、特に限定されるものではないが、本実施形態では基準プレート17の周方向略120度間隔をおいた三領域に配置されている。このボルト群18は、図5に示されるように、ボルト18a、18b、18cを一ユニットとして合計三ユニット設けられている。各ボルト18a、18b、18cの先端側すなわち下端側はそれぞれ半球形に形成されているとともに、外周に形成された雄ねじ部18Sは、基準プレート17の図示しない雌ねじに係合するとともに、雄ねじ部18SにロックナットNを締め付けることにより、各ボルト18a、18b、18cが基準プレート17に対して一定の突出量を維持する状態で固定されるようになっている。前記調整ブロック群19は、ボルト群18を構成するボルト18a、18b、18cの数に対応した数、すなわち三つの調整ブロック19a、19b、19cを一ユニットとして、保持プレート16の周方向略120度の間隔をおいた三領域に配置されている。これら調整ブロック19a、19b、19cは、図5に示されるように、ボルト18a、18b、18cの何れか一つが当接したときに、残り二本のボルトが当接しないように維持する逃げ穴23を備えて構成され、これにより、各ユニットにおけるボルト18a、18b、18cは、それらの何れか一個が選択的に保持プレート16側に当接可能となり、三領域の各ボルト18a、18b、18cの突出量によって載置面TSに対する保持プレート16の傾きを調整するようになっている。基準プレート17の中央部上側には、ハウジング20が設けられている。このハウジング20は、図示しないベアリングを介して従動ギヤ21を回転可能に保持し、当該従動ギヤ21は、スペーサ20Aを介して基準プレート17を支持する。従動ギヤ21は、後述する連結板24の下面側に固定されたモータMの出力軸に固定された主動ギヤ22に係合して回転駆動されるように構成され、基準プレート17は平面内において保持プレート16に対して相対回転可能となっている。前記駆動手段13は、X軸方向に延びるX軸ロボット30と、当該X軸ロボット30を介してX軸方向に移動可能に支持されたスライダ31と、このスライダ31の前面に固定されたZ軸ロボット33と、このZ軸ロボット33に一端側が支持される一方、他端側(先端側)が前記保持手段11及び平行調整手段12を支持するように設けられたプレート状のアーム部材34とにより構成されている。従って、X軸ロボット30及びZ軸ロボット33の駆動により、保持プレート16は、アーム部材34を介してX軸及びZ軸方向に移動可能となる。前記連結手段14は、連結板24と、当該連結板24の上面側に固定されたシリンダ36と、このシリンダ36のピストンロッド37の先端すなわち下端と保持プレート16の中央部上面との間に配置されて保持プレート16を揺動可能に支持するユニバーサルジョイント38とを備えて構成され、前記ピストンロッド37が軸方向に進退することにより、保持プレート16が昇降可能となって基準プレート17との相互離間幅が調整可能となり、ひいては、ボルト群18と調整ブロック群19との係合を許容し、保持プレート16と被保持面Waとが平行となるように調整可能となっている。前記緩衝手段15は、前記連結板24の周方向略120度間隔を隔てた位置に立設されるとともに、前記アーム部材34を貫通して延びる3本の昇降軸40と、この昇降軸40が貫通する状態で当該昇降軸40の外周と前記アーム部材34との間に設けられたブッシュ41と、各昇降軸40の上端を相互に連結するように固定された頂板43と、当該頂板43とアーム部材34とにその両端が固定されたコイルばね45とを備えて構成されている。コイルばね45は、頂板43を上方に付勢する付勢力を有するが、前記保持手段11等の重量により、その付勢力に抗して幾分縮んだ状態が初期状態となる。次に、本実施形態に係る搬送装置10を用いたウエハ搬送方法について説明する。ここでは、第1ないし第3のテーブルが存在するものと仮定し、説明の便宜上、それぞれ符号T1、T2、T3とし、これらテーブルT1〜T3間でウエハWを搬送するものとする。最初に第1のテーブルT1の載置面TSに載置されたウエハWの被保持面Waと保持面16Aとが平行となるように調整する。この調整に際しては、シリンダ36の動作により保持プレート16を上方に引き上げ、ボルト群18の各ボルト18aの下点が各調整ブロック19aの当接点(図5中矢印L)に接触した状態で、各ボルト18aを基準プレート17に対して上下させ、第1のテーブルT1に載置されたウエハWの被保持面Waと保持面16Aとが平行になるようにする(図4参照)。保持プレート16は、ユニバーサルジョイント38によってその可動範囲内で首振りが可能となっている。他のボルト18b、18cは、最大量ねじ込んでも、先端が調整ブロック19aの穴23内にそれぞれ入り込むだけに止まり、保持プレート16側に接触することはない。次に、駆動手段13を駆動して第2のテーブルT2の載置面に対してウエハWの被載置面Wbが平行となるようにその傾きを調整する。シリンダ36の動作により一旦保持プレート16を下方に移動させ(図3参照)、この状態でモータMによって、ボルト群18の各ボルト18bの下点が各調整ブロック19bの当接点(図5中矢印C)上方に位置するように基準プレート17を回転駆動させる。上記同様に、シリンダ36の動作により保持プレート16を上方に引き上げ、各ボルト18bの下点が各調整ブロック19bの当接点(矢印C)に接触した状態で、各ボルト18bを基準プレート17に対して上下させ、第2のテーブルT2と被載置面Wbとが平行になるようにする。最後に、上記と同様に、各ボルト18cと各調整ブロック19cの当接点(図5中矢印R)によって第3のテーブルT3と被載置面Wbとが平行になるようにする。以上の設定により、各テーブルT1〜T3の載置面TSに対応して保持面16Aの傾き調整を完了する。次に、自動運転で第1のテーブルT1から第2のテーブルT2にウエハWを移載する場合には、駆動手段13を介して第1のテーブルT1の上方に保持手段11を移動させる。この移動完了と前後して、シリンダ36が保持プレート16を下方に移動させ、モータMによって、ボルト群18の各ボルト18aの下点が各調整ブロック19aの当接点(矢印L)上方に位置するように基準プレート17を回転駆動させ、保持プレート16の引き上げによって、図4で示されるように保持面16Aが被保持面Waと平行とされる。【0030】このようにして保持面16Aと被保持面Waとの平行が確保された状態で、駆動手段13を介して保持面16Aを下降させると、当該保持面16AがウエハWの被保持面Waに平行状態を維持したまま接触し、図示しない減圧装置によってウエハWを吸着保持することとなる。この接触に伴いウエハWは、保持プレート16によって衝撃を受けるが、前記緩衝手段15により、保持プレート16は上方に退避することができるので、ウエハWの割れは防止できる。【0031】そして、駆動手段13を介してウエハWを第1のテーブルT1から上方に離間させた後、第2のテーブルT2に向かって搬送される。この搬送過程においても上記同様に、シリンダ36と、モータMの動作によって、各ボルト18bの下点が各調整ブロック19bの当接点(矢印C)上方に位置するように基準プレート17を回転駆動させ、保持プレート16の引き上げによって、被載置面Wbが第2のテーブルT2と平行とされ、平行状態を保ったまま第2のテーブルT2上にウエハWを移載することができる。第2のテーブルT2でウエハWに所定の加工が施されたとする。第2のテーブルT2から第3のテーブルT3にウエハWを移載する場合には、各ボルト18bと各調整ブロック19bの当接点(矢印C)の接触の状態で、第2のテーブルT2のウエハWを吸着保持し、各ボルト18cを各調整ブロック19cの当接点(矢印R)に当接するように、前述と同様の動作を行わせればよいことになる。従って、このような実施形態によれば、保持面16Aと被保持面Waとが平行な状態となって接触し、当該ウエハWを保持することができるため、ウエハWの割れを確実に防止して搬送することが可能となる。緩衝手段15は、保持面16AとウエハWとが接触したときの圧力を緩和するため、保持面16Aによる吸着保持の際の衝撃もなく、この点からもウエハWの損傷を回避することができる。調整部材として複数のボルト18a、18b、18cを一ユニットとして構成し、これに対応した当接点を調整する調整ブロックも三個一ユニットとして構成したから、少なくとも、三つのテーブルに対する搬送を行うことができる他、ユニット構成数を更に増やすことにより、テーブルの数を増やした場合にも難なく適用可能とする汎用性を付与することが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。前記実施形態では、三個のボルトを一ユニットとして構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、更に増加させてもよい。この場合には、ボルトの数に対応して調整ブロックを増加させれば足りる。当接点調整部材としては、保持プレート16の上面に調整ブロック19を固定する構成としたが、調整ブロックに設けたのと同様の穴を保持プレート16に形成すれば、調整ブロックを省略することもできる。前記実施形態の構成を採用すれば、調整ブロックの変更により、種々の載置面に対応した傾き調整を行う自由度をもたらす、という利点がある。【0037】また、駆動手段13は、保持プレート16をX軸、Z軸の直交二軸方向に移動可能とするものを採用したが、本発明はこれに限定されるものではなく、Y軸方向へも移動可能とすることもできる。加えて、駆動手段13の構造も図示構成例に以外のものを採用することができ、例えば、自由端が三次元方向に移動可能となるロボットアーム等を用いてもよい。【図1】本実施形態に係る搬送装置の概略斜視図。5】ボルト群とこれに対応する調整ブロックを展開した説明図。※以下のタグをホームページ中に張り付けると便利です。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。