梓HOME製品・サービス半導体製造設備フリップチップボンダーOF2000OF2000OF2000光素子向け超高精度フリップチップボンダーOF2000<概要>光素子など微小チップを対象とした超高精度フリップチップボンダー。トレイからのチップ供給、基板のロード、アンロード機能のついたフルオートマシン。<特徴>独自のセラミックヒータを上下に配置し、多彩なプロファイル、コントロールが可能。考慮した構造、キャリブレーション機能により、常に安定した精度を維持。圧力機構にエアベアリングを用いて低加圧制御を実現。