製造工程の異常を統計的に推定システムLSI時代の新技術体系(3)これまで開発,生産の工程途中でのモニタリングや検査技術について紹介してきた。今回はモニターされた欠陥や異常が,プローブ・テスト後に判明する電気的不良と結び付いているかをチェックする技術について述べる。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。