plasma.(JA)被照射体に放電が起こる危険性がなく、プラズマ発生開始を容易にかつ確実に行うことができ、マイルドなプラズマジェットの状態が変動することなく安定に維持されるプラズマ照射処理装置を提供する。プラズマ生成用電極が、上流からガスが通過し、プラズマを始動し、プラズマを生成し、かつプラズマジェットを噴出する一つ以上の長穴内の全ての空間に対して、全ての電極が一切露出せず誘電体により覆われて設けられている。