ア「本発明は,検出しようとする物質を含有するサンプルをオプティカル平形導波体の導波層に接触させ,可干渉光を導波路に伝搬し,光波としてこの導波層内を案内し,光波を導波層の外に分離伝搬する化学物質のマイクロオプティカル検出方法に係る。本発明は,化学物質のマイクロオプティカル検出方法を実施するためのマイクロオプティカルセンサーにも関係している。このセンサーは平形導波体を有し,平形導波体は,基質上に設けた導波層と,この導波層の面内に形成されている可干渉光の伝搬および分離伝搬用の回折格子とを備えている。」(2頁左欄1行~14行,甲2の段落【0001】及び【0002】)「固体キャリア基質,例えば,化学的感応分子コーティング層を被覆した球状体やペレットを使用して,生体医学分析に必要な様々な試験が行われてきている。分析のために,患者のサンプル,例えば血清あるいは血漿をキャリア基質に接触させる方法を取ることがある。」(2頁左欄29行~38行,甲2の段落【0004】)「平形導波体は,透明なキャリア基質表面の薄い誘電層またはコーティング層からできている。」(2頁左欄55行~57行,甲2の段落【0006】)イ「図1の(a)は,平形導波体1の断面を概略的に示している。この導波体は平坦な基質3とこの基質上に位置する導波層2から構成されている。導波層2の表面およびこの導波層2と基質3の間の境界面は,それぞれ凹凸面格子により変調されている。これら2つのオプティカル回折格子は導波層の内部に設置しておくこともできる。」(4頁右欄31行~39行,甲2の段落【0025】)「図3の(b)は,従来技術の回折格子を備えた格子カプラーのオプティカル特性を示している。格子に衝突する光線は回折により一連の光成分に分かれる。1次の回折次数に加えて別の離散次数の生じることもある。この現象は格子断面が持つ高フーリエ成分(調和特性)に原因がある。格子断面は,例えば三角形にすることができる。離散回折次数の回折角度θjは格子回折式sin(θj)=j(λ/nl)を満足している。式に含まれるjは回折次数を,λは真空波長を,nは格子を取り囲む媒体Iの屈折率を,またl(Lの小文字)は格子定数を表わしている。」(5頁右欄11行~24行,甲2の段落【0035】)「図4はセンサーの断面を示している。センサーは,平形導波体1と,この平形導波体上に配置され,側壁およびカバーを備えているサンプルセル5とにより構成されている。カバーはサンプルセル5の内部に到る穴を備え,観察時には導波体の感応表面は物質4で満たされている。」(5頁右欄37行~44行,甲2の段落【0037】)「図4およびそれ以降の図面は測定中における光経路を示している。図4に示すように,基質側から進入した光線6はその一部が2つの格子Ga,Gbの一方により導波体内に伝えられる。伝搬光成分7は,導波モードとして導波層2の区域Lの範囲で伝搬し,(長さLの)経路に沿ってサンプル4と相互に干渉し合う。2つの分離伝搬光成分9a,9bのうちの一方の光の方向は,入射光線6の導波層2から反射した入射光線6の非伝搬成分8の方向とは異なっている。光成分8は反射時には0次の回折次数に相当している。入射光6の直径は,導波層2の伝搬光成分7の伝搬距離Lに見合うように選択されている。通例では,入射光6の光線幅Wと導波モードの伝搬距離Lは同程度の大きさに設定されている。センサーの感度は導波体のオプティカルパラメーターに依存している。薄い導波層の厚みと屈折率,および基質と上側層の屈折率によって決まる。導波層に生じる化学変化,すなわち導波層に隣接した位置で生じる化学変化を検出するために,高屈折率の導波層2の厚みは伝搬光の波長よりも短くしておくとよい。」(5頁右欄45行~6頁左欄15行,甲2の段落【0038】)「光線,例えばレーザー光線が格子変調構造の導波層に衝突すれば,光成分の反射および伝達に加えて,反射時および伝達時の何れの場合にも他の無限小回折次数が生じる。入射角度を正確に選択していれば,光は一次の回折次数を経て導波体に伝搬される。伝搬光成分は案内モードとして導波層内を伝わり,引き続いて回折格子による相互作用が行なわれ,案内モードは連続的に分離伝搬される。案内モードを完全に分離伝搬するのに要する伝搬距離は,格子の回折効率によって決められる。導波および分離伝搬の行なわれる格子区域は互いからオフセットされ,また一部が重なり合っている。図4に概略的に示すように,分離伝搬光9a,9bは入射光6から横向きに位置がずれている。光線の幅Wに対する横方向変移量Lの比率は,導波層に入射する光のプロフィールにより,また格子の回折効率によって求められる...。」(7頁左欄30行~55行,甲2の段落【0050】及び【0051】)ウFig.1(a)(甲2の【図1】(a))には,「平坦な基質3とこの基質上に位置する導波層2から構成され,導波層2と基質3の間の境界面に凹凸面が形成された平形導波体」が,Fig.4(甲2の【図4】)には,「平坦な基質3とこの基質上に位置する導波層2から構成され,導波層2と基質3の間の境界面に凹凸面が形成された平形導波体上に,側壁およびカバーを配してサンプルセル5が形成されたセンサー」が,それぞれ図示されている。Fig.4(甲2の【図4】)は,次のとおりである。(2)上記(1)の記載によれば,引用例1には,審決が認定するとおり,「光バイオセンサーとして使用するためのセンサーであって,側壁およびカバーと,前記側壁の一端に,その側壁と協働して試料が満たされるサンプルセルを形成する平形導波体を有し,この平形導波体は平坦な透明基質と,この基質上の側壁側に位置する導波層,前記基質と前記導波層との間の境界面に回折格子を形成したものであるセンサー」(引用発明)が記載されているものと認められる。上記(1)の記載によれば,基質と導波層との間の境界面にある回折格子に衝突する光線は回折により一連の光成分に分かれるところ,1次の回折次数に加えて別の離散次数が生じることがあることが認められる。上記(1)の記載によれば,引用発明においては,基質側から進入した光線6はその一部が導波体内に伝えられ,伝搬光成分7は,導波モードとして導波層2の区域Lの範囲で伝搬し,(長さLの)経路に沿ってサンプル4と相互に干渉し合い,回折格子より出ていくが,区域L内で回折格子と結合しなかった光も,次第に減衰するものと考えられる。4取消事由について(1)一方,引用例2(特開昭60-40955号公報。甲3)及び引用例3(特開昭63-8537号公報。甲4)には,「単一プレート内にマトリックス状に配列された多数のウエルを有するマイクロプレートを用い,多数の生体物質試料の光学的自動分析を行うこと」が記載されている。引用発明と引用例2及び引用例3は,いずれも光バイオセンサーの技術分野に属するから,引用発明に,上記引用例2及び引用例3に示されている周知の技術事項を適用し,引用発明において,単一プレート内にマトリックス状に配列された多数のウエルを有するマイクロプレートを用いることは,当業者(その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者)が容易に想到することができたものというべきである。透明な基材プレート全面にわたって薄膜導波路を形成することは,生産効率を向上するために当業者が当然に選ぶであろう技術的事項であって,後記(2)のとおりそれを妨げる事情も認められないから,当業者は,薄膜導波路を「貫通孔のマトリックスに隣接するとともに,そのマトリックスに沿って延在している薄膜導波路」との構成とすることを容易に想到することができたということができる。(2)原告らは,引用発明において,導波層2から光を分離伝播するとき,伝播光成分7の一部が分離伝播して分離伝搬光成分9a,9bを形成するが,伝播光成分7の一部の光成分は分離伝播されず,導波層2内で横方向に伝播し続ける(原告ら主張に係るWaが発生する)ので,薄膜導波路を「貫通孔のマトリックスに隣接するとともに,そのマトリックスに沿って延在している薄膜導波路」との構成とすることを想到することはないと主張する。上記3(1)イのとおり,引用例1には,「案内モードを完全に分離伝搬するのに要する伝搬距離は,格子の回折効率によって決められる。」(7頁左欄44行~46行,甲2の段落【0051】)と記載されており,前記3(2)のとおり,引用発明において,区域L内で回折格子と結合しなかった光も,次第に減衰するものと考えられることに加えて,本願の優先権主張日(平成5年7月20日)当時,次のア,イのような技術が知られていたことからすると,当業者は,次のア,イの技術を参酌することにより,マイクロオプティカルセンサーにおいて,導波層内で横方向に伝搬する光Waが他のウエルに影響を及ぼさないようにしつつ,センサーに付着された物質と光が相互作用するように,回折格子を設計することが可能であったと考えられる。そもそも,本願明細書(甲7)には,そのような回路設計の問題点を指摘する記載は全くないことはもとより,導波層2内で横方向に隣接するセルまで伝搬し続ける光(原告ら主張に係るWa)についての具体的な記載もなく,その他,本願の優先権主張日当時,そのような回路設計が困難であったことを示す文献が存したとも認められないのであって,これらの事実は,上記回路設計が可能であったことを裏付けているということができる。すると,当業者は,Waの発生を懸念して,薄膜導波路を「貫通孔のマトリックスに隣接するとともに,そのマトリックスに沿って延在している薄膜導波路」との構成とすることを避けるとは考えられない。1次光のみに着目した導波路,回折格子の設計が可能であったこと(ア)乙1(特開昭60-188911号公報。昭和60年9月26日)には,次の記載がある。a「従来,光集積回路を構成する光導波路に外部から光を導入したり導波路中を伝播する光を導波路外へと導出したりする方法として,プリズムカップラーや研磨した導波路端面から直接光を導波路内に導入するバットカップラー等が知られている。プリズムカップラーは構成が最も簡単であるが,プリズムは高価で且つ結合させる際にプリズムを導波路に押しつけるための治具等が光集積回路素子から突出し,素子を小型化且つ低価格化するための大きな障害となっている。バットカップリングにより光を直接導波路端面に導入するには,入射光を導波路端面にサブミクロンオーダーの精度で設定する必要があり,極めて高価なx,y,z3軸微調可能な移動回転ステージの使用が不可避である。薄い基板端面の研磨は極めて困難且つ高コストである。従って,プリズムカップラー同様小型低価格の素子の実現は困難である。かかる困難を克服する手段として平面型グレーティングを利用した光結合器が提案されている...。このグレーティング型光結合器は一般にグレーティングカップラーと呼ばれる。」(1頁左下欄19行~2頁左上欄4行)b「第1図に上記グレーティングカップラーの代表的な従来例の概略断面図を示す。第1図(a)においては,基板11の表面上に光導波路12が形成されており,該導波路12の表面上にたとえば誘電体からなるグリッド13を装荷することによってグレーティングが形成されている。第1図(b)においては,基板11の表面上にスパッタリング等の方法により感光性材料からなる光導波路14を形成し該光導波路14の一部を露光せしめて屈折率を変化させ体積型のグレーティング15が形成されている。第1図(c)においては,基板11の表面上に光導波路12が形成されており,該導波路12の表面上にたとえばレジストや金属等からなる格子状のマスクを形成してたとえばイオンミリング等の食刻技術を用いて導波路12を格子状に食刻した後にマスクを除去することによりグレーティング16が形成されている。」(2頁左上欄5行~右上欄3行)c「以上の如きグレーティングカップラーによれば,素子の安定性,平面性及び低コスト性を実現でき,このカップラーは現在のところ光機能性素子の入出力結合器として最も優れた方式であるといえる。ところが,導波光伝搬方向の屈折率変化が正弦的もしくは矩形的である様なグレーティングの構造では,第2図に示される如く,導波路12を伝搬した導波光21はグレーティング22により回折せしめられて空気中へと出射する(光23)と同時に基板11側へも出射する(光24)。...ここで,導波光から1次回折光への結合効率が他の高次回折光への結合効率に比べ2桁以上大きいという事実に基づき,高次回折光の影響を無視し1次回折光のみに注目すると,1次回折光が空気中と基板中との双方に出射することなく基板側のみに出射する条件は次の様になる。:導波器の屈折率dn:基板の屈折率Λ:グレーティングのピッチ」(2頁右上欄4行~左下欄8行)(イ)以上の記載によれば,本願の優先権主張日当時,平面型導波路に設けられた回折格子における入出力の結合効率は,1次光の効率が他の高次光に比して極めて高いことが知られており,1次光のみに着目した導波路,回折格子の設計が可能であったことが認められる。イ導波路中に設けられる回折格子の結合効率を100%に近い極めて高い値とすることが可能であったこと(ア)乙2(特開平4-40404号公報。平成4年2月10日)には,次の記載がある。a「そこで本発明は,光導波路表面に形成した回折格子によって,導波光を光導波路外に極めて効率良く,そしてほぼガウスビームとして出射させることができ,あるいは,ガウスビームである外部光を,極めて効率良く光導波路内に入射させることができる光導波路素子を提供することを目的とする。),導波光伝搬方向の格子長さをLとした2とき,下記の式3b≧√8/aLを満足するように設定したことを特徴とするものである。」(3頁左下欄10行~右下欄3行)c「つまり,導波光14’の99.5%が出力されることになり(第1図(3)参照),この設計の妥当性が明らかである。」(4頁右下欄5行~7行)d「半導体レーザ13は,斜めにカットされた基板端面12aに向けて垂直に光ビーム(レーザビーム)14を射出するように配置されている。発散ビームであるこの光ビーム14は,コリメーターレンズ15によって平行ビームとされた上で上記端面12aから基板12内に入射し,光導波路11を透過して,その表面に形成された前記LGC20の部分に入射する。それにより光ビーム14はこのLGC20で回折して光導波路11内に入射し,該光導波路11内を導波モードで矢印A方向に進行する。この導波光14’はLGC21により回折して,光導波路11から基板12側に出射する。」(5頁右下欄17行~6頁左上欄8行)e第2図は,次のとおりである。(イ)以上の記載によれば,本願の優先権主張日当時,回折格子の形状を適切に設計することにより,導波路中に設けられる回折格子の結合効率を100%に近い極めて高い値とすることが可能であったことが認められる。ウなお,原告らは,マイクロオプティカルセンサーにおいては,「センサーの範囲のかなりの部分に沿ってセンサーに付着された物質と相互作用するように,光は薄膜導波路に沿ってできるだけ妨害されないで伝搬」されるためには,回折格子はできる限り低い出結合を検出領域に沿って達成することが要請されるところ,乙2に記載される発明のような100%近い高い出結合が得られるということは,入り結合光が検出領域Lに沿って伝搬する前に出結合されていることを意味し,乙1についても同様であると主張する。乙2には,上記イ(ア)dのとおり記載されていること及び上記イ(ア)eの第2図の記載からすると,光導波路11内を光ビーム14が伝搬していることは明らかであるし,乙1についても,上記ア(ア)bcの記載並びに第1図及び第2図の記載からすると,導波路12を導波光21が伝搬しているから,原告らの上記主張を採用することはできず,「当業者は,Waの発生を懸念して,薄膜導波路を『貫通孔のマトリックスに隣接するとともに,そのマトリックスに沿って延在している薄膜導波路』との構成とすることを避けるとは考えられない」との上記認定が左右されることはない。-薄膜技術,1983年,165頁~173頁)の第5図の実験は,薄膜導波路内に結合して導入された光が,薄膜導波路内を伝搬するという事実を前提に,どの程度の光が散乱光として外部に放射されるかを実験したものである。上記のとおり,本件訴訟において問題となっているのは,薄膜導波路内に回折格子によって結合されて導入された光が,同じく回折格子により結合されて薄膜導波路から外部に放射されたにもかかわらず,どの程度,薄膜導波路内に残存して横方向に伝搬し,他のウエルに影響するかということであるから,甲10の第5図の実験は,このような横方向に伝搬する光の存在を直ちに証するものではなく,上記(2)の認定を左右するものではない。引用例1(甲1)には,「8.伝搬および分離伝搬領域外で行なわれる導波層の化学的または物理的作用は,導波体内を案内され測定に用いられる光に悪影響を及ぼすことはない。」(8頁左欄41行~45行,甲2の段落【0062】)との記載がある。ここでは,伝搬及び分離伝搬領域(区域L)の上流又は下流で生じる化学的又は物理的作用が,区域L内で測定に用いられる光に影響しないことが記載されているが,引用発明は単独のウエルを前提としたものであって,隣接するウエルから伝搬してくる光は想定されないから,上記記載が直ちに導波層2内で横方向に伝搬し続ける光(原告ら主張に係るWa)の発生について述べているということはできない。したがって,引用例1の上記記載は上記(2)の認定を左右するものではない。(4)以上述べたところからすると,本願補正発明は,引用発明並びに引用例2及び3記載の周知の技術的事項に基づいて容易に発明することができた旨の審決の判断に誤りがあるということはできず,原告ら主張の取消事由は理由がない。