社員のブログBlog2012/06/21マスク成膜システムシステム技研が新しいマスク成膜システムをご提案します!!●マスク浮きでパターン輪郭精度が出ない●マスクのアライメントが煩雑で精度も悪い●ウエハーとメタルマスクの膨張係数を合わせたい●難エッチング材の処理で困っているこの様な問題でお困りの際は当社のマスク成膜成膜システムを是非ご検討下さい。当社の「マスク成膜システム」は以下のコンポーネントをシステムでご提供するサービスです。可能です・ガラスなどの角形ウエハーにも対応します。・当社専用ホルダーに合わせた専用機です・アライメント中はマスクとウエハーが非接触のプロキシミティアライメント・画像処理によるオートアライメント・ワークの自動供給、排出などのフルオート機も設計製作いたします。