conducteur.(JA)本発明の薄膜キャパシタは、第1の導体層と第2の導体層とが誘電体薄膜を介して対向状に形成されたキャパシタ部が、基板上に形成されると共に、前記第1の導体層及び前記第2の導体層のうちのいずれか一方の導体層と電気的に接続され、前記一方以外の他方の導体層と電気的に絶縁された第1の導体パッドと、前記一方の導体層と電気的に絶縁され、前記他方の導体層と電気的に接続された第2の導体パッドと、前記第1の導体パッド及び第2の導体パッド上にそれぞれに形成された第1及び第2のバンプとを備え、前記第1及び第2の導体パッドが前記基板に接合されている。これにより、バンプに鉛直方向の応力が生じた場合であっても、該応力が導体に集中しないようにした。