结果,如图3、图8和图9所示,在宽度Wl是20iim以及长度L是8iim或IOum的情况下,TFT特性没有恢复,同时阈值电压(Vth)漂移比通常高出2V〜5V。13的保护和TFT特性的恢复。例如,在该实施方式等中,如图IC所示,在氧气传输膜14A中,仅端面SI暴露于保护膜14的端面S2。在该实施方式等中,如图IA所示,氧气传输膜14A和氧气阻隔膜14B的宽度W2大于漏电极15和源电极16的宽度W1。