研究者情報全体を検索する場合は右端の「すべて」を選択して下さい。(日本)気相の自由エネルギーを考慮した第一原理計算により、InN加圧MOVPEにおける異相混入機構を解析している。窒化アルミニウムは深紫外LEDやパワーデバイス用の材料として期待されている。そのバルク成長技術は開発途上にある。より、従来の窒素ガスを窒素原料とする低温溶液成長技術に比べ約2倍の成長速度を達成することに成功した。得られた窒化アルミニウム単結晶に含まれる貫通転位密度はハライド気相成長法により作製した単結晶と同程度であり、高品質結晶の成長が確認された。以上より、本研究で開発した固体ソース溶液成長技術の適用可能性が示唆された。開発.本データベースの内容を無断転載することを禁止します。