高温HFエッチング装置エッチング時間を短縮するために、HFまたはBHFといった薬液の高温処理を可能とし、生産性の向上に貢献いたします。・処理槽の自動蓋の密閉性を高め、さらに蓋内部へ冷却水を流すことにより、ケミカルの蒸発量を低減。高精度なエッチング・2重整流板を使用することにより、高温域における温調精度を向上。・水晶基板へより高精度なエッチングか可能。(スピード・ストローク可変)によりフレキシブルになプロセス変更が可能。