[0001]【発明の属する技術分野】この発明は、リニアゲージ等に用いられる光学式エンコーダに関する。[0002]【従来の技術】リニアゲージ等に用いられる光学式エンコーダは、光学格子が形成されたスケールと、これに相対移動可能に対向配置された読み出しヘッドとから構成される。読み出しヘッドには、スケールに光を照射するLED等の光源と、スケールの光学格子により変調された光を検出して変位信号を出力する受光素子を備えて構成される。スケール部材としては、熱膨張係数が小さく、光学格子パターンの加工が容易なガラス材が多く用いられる。52によってスケールホルダー53に取り付けた状態を示している。この様に片持ち梁構造でガラススケールの一端を直接保持すると、図に矢印で示すような振動や衝撃によって、ガラススケール51が簡単に折れるおそれがある。623に取り付けることが行われる。ガラススケール51と枠体61の間は例えばシリコーン樹脂接着材により接着固定される。[0004]【発明が解決しようとする課題】しかし、図6のスケール保持構造は、ガラススケールと別に枠体を必要とするだけでなく、光学式エンコーダの精度保持には高度の接着技術が必要となり、寸法精度を出すことも難しくなる。スケール取付工程が増え、従って高精度の取付のためには熟練を必要とする。これらは、光学式エンコーダの歩留まり低下やコストアップをもたらす。枠体によって、スケール幅全体を有効利用できないという問題もある。width.【0005】この発明は、上記事情を考慮してなされたもので、簡単な構成で耐衝撃性に優れたスケール及びスケール保持構造を持つ光学式エンコーダを提供することを目的とする。[0006]【課題を解決するための手段】この発明は、光学格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に対向配置されてスケールに光を照射し光学格子により変調された光を検出して変位信号を出力する読み出しヘッドとを有する光学式エンコーダにおいて、前記スケールが、長手方向の一端がスケールホルダーに片持ち梁方式により保持されたプラスチックスケールであることを特徴とする。この発明において特に好ましくは、前記プラスチックスケールは、透明プラスチック基板を用いて作られた透過型スケールであるものとする。この発明において好ましくは、前記プラスチックスケールは、孔を開けてネジにより前記スケールホルダーに固定されるものとする。frame,ガラススケールのように簡単に折れることがない。従って、耐衝撃性が優れたものになるだけでなく、スケール保持構造は簡単になり、高度の接着技術も要せず、光学式エンコーダの歩留まり向上及びコストダウンが図れる。[0008]【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。図1は、この発明の一実施例による光学式エンコーダのスケールとその保持構造を示している。スケール1は、透明プラスチック基板11にスケール格子12及び原点検出パターン13を形成した透過型のプラスチックスケールである。このプラスチックスケール1の長手方向の一端には取り付け孔14が設けられており、この孔14を利用してネジ3によりスケールホルダー2に取り付けられて、片持ち梁構造とされる。structure.【0009】図2は、この様に構成されたプラスチックスケール1を読み出しヘッド4と共に組み込んだ小型リニアゲージの断面構造を示している。4は、LEDチップ41を透明樹脂42にモールドしてなる発光素子43と、これに対してスケール1を挟んで対向する受光IC45とを有する。41からの光は反射膜44で反射されてスケール1に照射され、スケール1の透過光が受光IC45により受光されるようになっている。45.【0010】受光IC45は、例えばフォトダイオードアレイ、及び電流電圧変換器等の必要な電子回路を集積したもので、電源ノイズ除去のための積層チップコンデンサ46が搭載されている。受光IC45は、ガイド部材6の上にガラス板45を介して取り付けられ、発光素子43はガイド部材6の下に取り付けられて、それらの間に、図1に示すように保持されたプラスチックスケール1が移動できるように挿入されている。スケール1はスケールホルダー2を介して円筒体5の一端に固定され、円筒体5と共に読み出しヘッド4に対して相対移動することになる。5.【0011】プラスチックスケール1の具体的な製造工程を、図3及び図4を参照して説明する。)の積層膜をスパッタ等により形成する(図3(b))。この積層膜上にレジスト33を塗布し(図3(c))、このレジスト33を格子パターンに露光現像する(図3(d))。4(a))、レジスト33を剥離する(図4(b))。これにより、光遮蔽膜が所定ピッチで配列された光学格子12が形成される。実際の製造では、複数のスケールを一つのプラスチック基板に同時に形成する。従って図4(d)の工程の後、各スケールを切断分離する。scale.【0013】この実施例によると、ガラスに比べて可撓性に富むプラスチックスケールを用いることにより、片持ち梁で保持した場合の耐衝撃性が優れたものとなる。parts,スケール位置決めにも大掛かりな治具等を必要としない。スケールを直付けできるのでスケール形状の設計の自由度も高いものとなる。スケール幅を枠体により制限されることなく有効利用できる。by,プラスチック基板が経年変化で変形や透明度の劣化が生じた場合に、取り替えが効き、メンテナンス性が高いものとなる。maintainability.【0014】なお実施例では、スケール1の一端をネジで取り付け固定したが、接着材で固定することもできるし、或いはネジと接着剤を併用することもできる。いずれの取り付け法を用いても、ガラススケールの場合のように枠体を用いる保持構造に比べて、構造は簡単で取り付け精度を高いものとすることができる。実施例では透過型スケールを用いたが、反射型スケールを用いた場合にも同様にこの発明を適用できる。[0015]【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、プラスチックスケールを用いることによって、枠体を用いず片持ち梁方式で保持して優れた耐衝撃性を得ることができ、スケール保持構造は簡単になり、高度の接着技術も必要としないために、光学式エンコーダの歩留まり向上及びコストダウンを図ることができる。この発明の一実施例による光学式エンコーダのプラスチックスケールの保持構造を示す。同実施例のエンコーダを用いたリニアゲージの断面構造を示す図である。同実施例のスケールの製造工程を示す図である。同実施例のスケールの製造工程を示す図である。従来のガラススケールとその保持構造を示す図である。従来のガラススケールとその保持構造を示す図である。4...読み出しヘッド、42...発光素子、45...受光IC。前記スケールは、長手方向の一端がスケールホルダーに片持ち梁方式により保持されたプラスチックスケールであることを特徴とする光学式エンコーダ。前記プラスチックスケールは、透明プラスチック基板を用いて作られた透過型スケールであることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。前記プラスチックスケールは、孔を開けてネジにより前記スケールホルダーに固定されていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。implemented。