開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。arquée.(JA)【課題】ガラス基板等の被処理基板を搬送しながらエッチング処理を行うエッチング装置において、処理チャンバ内の汚損を防止することが可能なエッチング装置を提供する。【解決手段】エッチング装置10は、所定方向に搬送されているガラス基板24に対してエッチング液を噴射するように構成されたエッチング装置であり、搬送ローラ30、スプレイユニット32および複数のエッチングチャンバ161,162を備えている。搬送路ローラ30は、ガラス基板24を所定の搬送方向に向かって搬送するように構成される。スプレイユニット32は、搬送ローラ30上のガラス基板24に対してエッチング液を噴射するように構成される。エッチングチャンバ161,162は、搬送ローラ30およびスプレイユニット32を少なくとも内部に収容するように構成され、断面視円弧状でかつ透明性を備えた天井部40を少なくとも有する。