豊富な経験と実績で顧客様のご要望にフレキシブルにご対応。・約半世紀の経験よりニーズに合わせた最適なカスタム装置をオーダーメイドでご提供。・シンプルな処理槽構造や独自開発した最適な循環供給ノズルにより循環均一性を実現。加工することでパーティクルやコンタミネーションを抑制。・高い温度均一性や循環均一性より高いエッチングレートとユニフォミティーを実現。・ウォーターマークレスを実現したVaporless式IPA置換乾燥機にてより高度な洗浄プロセスにも対応可能。・サーボモーター制御にて高速で安定した搬送を実現。・メンテナンス性を考慮し部品を配置。・液交換によるダウンタイムを最小限に抑えた制御システムを搭載。おける装置にかかる応力をシュミレーションし設計にフィードバック。基づき処理槽を設計し、ユニフォミティーの向上や、比抵抗回復時間の短縮を実現。装置設計に活かし最適な装置をご提供。