小型・汎用性を高めたローコスト検査機PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。MFT-20マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。Series信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。>価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。アクセシビリティサイトマップ。