:日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。(FE-SEM)(*2)を一体化した、新型の集束イオン・電子ビーム加工観察装置(FIB-SEM)「nanoDUE'T®」(NB5000形)を開発し、12月5日より発売を開始します。ナノ構造制御に伴い、エレクトロニクス・材料・エネルギーなどの幅広い分野において、特定微小部の解析がますます重要視されています。(STEM)(*4)の利用が欠かせない最先端デバイスの解析において、集束したイオンビームで試料を照射し加工するFIBは、高精度の加工・観察に必須な装置となっています。最近では、大面積の加工、固い材料の加工、多検体の処理が求められており、さらに、SEMによる正確な加工終点検出へのニーズも高まっています。FIBと高分解能FE-SEMを一体化した高性能FIB-SEM、「nanoDUE'T®」(NB5000形)を開発しました。より、ビーム径1μmの実用ビームにて50nAのビーム電流を達成し、大面積の加工、固い材料の加工、多検体の処理も容易に行えます。欠陥位置の特定に威力を発揮します。SEM部は、定評ある日立の高性能カラムデザインを踏襲し、1.0nmの高分解能を実現しています。弱い試料での加工終点検出には、新たにSection-view機能を搭載しました。本機能では、FIBリアルタイム加工モニタ画像で断面の概略形状を可視化することができます。サイドエントリーステージ(*5)の併設により、日立TEM/STEMとの間で試料ホルダを共有することができます。これにより、ピンセットを用いた試料の受け渡しが不要となり、TEM/STEM解析の効率向上に寄与します。日立ハイテクは「nanoDUE'T®」(NB5000形)の開発により、高精度な加工・観察が求められている半導体デバイス、電子材料分野などに向けて、積極的な営業展開を図っていきます。本装置の国内本体標準価格は2億2,000万円。2008年3月から出荷開始予定で、年間20台の販売を見込んでいます。「nanoDUE'T®」は、株式会社日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。ついて」をよくお読みいただき、ご同意いただける場合のみ、お問い合わせください。Reader®が必要です。