開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。°C.(JA)本発明の一形態に係る成膜装置は、巻出しローラ、巻取りローラ、加熱ローラ、成膜部及び制御部を有する。巻出しローラは長尺のフィルムである基材を巻き出す。巻取りローラは巻出しローラから巻き出された基材を巻き取る。加熱ローラは温調ユニットを含み、基材の搬送方向において巻出しローラと巻取りローラとの間に設けられ、基材を加熱する。成膜部は加熱ローラに対向して設けられ、金属材料を加熱する加熱機構を有する蒸発源を含み、基材上に金属膜を成膜する。制御部は基材が加熱ローラから巻き出され、巻取りローラに巻き取られる過程で、金属膜と基材との温度差が0°C以上180°C未満となるように、温調ユニット又は加熱機構のいずれか一方を制御する。