お問い合わせマルチスケールトータルエッチングシミュレータIntelliEtchIntelliEtchは、MEMS製造の重要なプロセスの一つであるウェットエッチング・DRIEをサポートするエッチングシミュレーションツールです。:KMC)とセルラーオートマトン法を用いたアルゴリズムを用い、各時間経過でのSi表面を確認することが可能です。エッチングシミュレーションを行うことが可能です。ような主要な特性を容易に理解することが可能です。エッチングレートのデータベースはエッチング業界のパイオニアある名古屋大学の佐藤一雄教授から提供していただいている信頼性の高いデータを使用しています。(IEC):CPUベースのシミュレータでキネティックモンテカルロ法(KMC)とセルラーオートマトン法でエッチングシミュレーションを行うことが可能。(IEG):GPUベースのシミュレータでセルラーオートマトン法を用いてエッチングシミュレーションを行い、GPUを使用して計算を行うので高速にシミュレーションを行うことが可能。Analyzer(WWA):実験でのエッチングレートを抽出するための機能。Wheelを光学画像から取込むことが可能なので、実験値を簡易に反映させることが可能。Visualizer(ERV):エッチレートの可視化を行うことが可能。測定したエッチレートのデータベース化機能エッチング液に添加物を加えた場合のエッチングシミュレーションは、現在(2011年4月現在)、IntelliEtchでのみシミュレーションを行うことが可能です。エッチング液中に添加物を加えるウェットエッチングは名古屋大学の佐藤先生が近年発表した新しい知見のウェットエッチングです。事例紹介(水晶):IntelliEtchでは水晶のエッチングシミュレーションを行うことが可能です。