d'extrémité.(JA)本発明は、小型の流体デバイスを提供することを目的とする。厚さ方向に順次積層された第1基板、第2基板及び第3基板と、第1基板と第2基板との少なくとも一方の基板に設けられた溝部で構成される第1流路と、第1基板と前記第2基板との少なくとも一方の基板に設けられた溝部で構成され、第1流路と流路の一部を共有する共有部を含む第1部分と、第2基板と第3基板との少なくとも一方の基板に設けられた溝部で構成される第2部分と、第2基板を厚さ方向に貫通し第1部分と第2部分とを両端側の位置でそれぞれ接続する第3部分と、を有する複数の循環流路と、を備える。