真空ポンプ直結型油回転真空ポンプ[画像クリックで詳細]SHINKO-SGD400/SGD600/SGD900/SGD1300直結型油回転真空ポンプ軸に固定されたロータが、回転することにより、ポンプのシリンダ内部に空間が生じ、その結果、吸気口よりシリンダ内部の空間に、気体が入ります。ロータが回転することにより、シリンダとピストン、シリンダとベーンとの空間にある気体は、圧縮される空間に移り、排気弁を通して、油タンク内部へ排出されます。ポンプ各部の潤滑・冷却と気密保持のために用いられる油は、本体側面からシリンダ内に供給、圧縮された気体と共に排気弁を通して、油タンク内部に排出され、タンク内部で気体と分離されます。クリーンルームに対応する清浄度とコンパクトさを実現。