検査ニーズに柔軟に応答するオペレーションユニットを装備しました。複数の観察条件の設定が可能なので、複雑な条件設定を即座に呼び出せるFUNCTION機能、高度な操作が可能なエンジニア画面等を装備、解析ニーズに対しても、顕微鏡操作はもちろん、デジタルカメラ、電動ステージ等周辺機器制御も簡単に行えます。切替も1クリックで行えます。工業用検査顕微鏡スピーディーなステージ移動と粗微動の切換で検査スピードをアップします。手を持ち替えずにフォーカシングをしながら調光、スムースな検査を実現します。S2/S8に適合、高い安全性とエルゴノミー性を確保しています。電動リボルバーで対物レンズをダイレクト切換、可視から近赤外までの多彩な観察法に対応、透過観察にも対応、嵩上げにより高さあるサンプルにも対応、ウェハ搬送装置を用意、コンフォーカルモジュールを用意。システムDUV(深紫外線)観察用の顕微鏡です。高倍率DUVまでのシームレスな観察が可能、15フレーム/秒のリアルタイムな画像処理表示。伴う、主要な操作の電動化、観察条件の記憶により、誰でも簡単な操作でベストな観察像を提供します。光学性能を追求しました。走査型共焦点レーザー顕微鏡408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ200mm/150mmウェハーローダー付き。走査型共焦点レーザー顕微鏡408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ300mmウェハーの全面観察が可能なオートステージを搭載しています。025-260-2710。