システム機能水製造システム超純水製造技術で培ったクリーン化技術を活かし、半導体や液晶の洗浄にも適用できる機能水製造装置を開発しています。半導体や液晶洗浄プロセスで強力な洗浄力の向上と使用薬品の大幅な低減を可能にしました。用途に合わせシリーズ化した機能水供給システムと水のトータルエンジニアリングで様々な洗浄目的に寄与しています。旧来の半導体・フラットパネル洗浄法であるSC1・SC2洗浄法の代替が可能になります。薬品洗浄コスト削減、熱エネルギーコストの削減に繋がり製造コストの飛躍的削減が可能になります。