両条件下において、従来機よりも空間分解能が大幅に向上しました。最大照射電流も300nA保証が可能になり、高分解能観察、ハイスループット分析を両立させ、更にオート機能等、使い勝手の良さも充実させた次世代マルチパーパスFE-SEMです。信号選別が可能なTTLS(スルーザレンズシステム)、そして、電磁場重畳のハイブリッド型対物レンズです。インレンズショットキー形電子銃インレンズショットキー形電子銃は、電子銃と低収差コンデンサーレンズを最適化し、電子銃からの電子を効率よく利用する事で、大電流でも小さなプローブ径を得る事が可能です。マッピング、EBSD分析等)が可能です。信号選別が可能なシステムです。GB(ジェントルビームモード)で試料にバイアス電圧を印加することにより、入射電子に対しては減速、試料からの放出電子に対しては加速作用をもたらし、低加速電圧(入射電圧)においてもSN比の良い高分解能観察が可能です。TTLSに搭載されているエネルギーフィルターのフィルター電圧により二次電子の検出量を調整する事が可能です。おいては、試料最表面の高角度反射電子のみを上方検出器(UED)で取得する事も可能です。ハイブリッド型対物レンズ(電磁場重畳)JSM-7200Fの対物レンズには、弊社新開発のハイブリットレンズを採用しています。ハイブリッドレンズとは、磁界レンズと静電レンズを組み合わせた電磁場重畳型の対物レンズで、従来のアウトレンズよりも収差を抑え、より高い空間分解能を得る事が出来ます。アウトレンズの使い勝手の良さはそのままですので、磁性材料の観察や分析も問題ありません。低収差のハイブリッドレンズとGB(ジェントルビームモード)により、絶縁物であっても、極低加速電圧で高分解能観察が可能です。為、組成情報リッチな像になっていますが、加速0.8kVの方が、加速5kVよりも最表面の微細な情報が測定出来ています。このように極低加速で試料最表面の反射電子組成像を得るには、上方検出器だけではなく、二次電子を除去するためのエネルギーフィルターが必須になります。Vカタログカタログダウンロード製品別のPDFカタログをダウンロードいただけます。BM検体ラックハンドラCA-RAminiは、BM6010と接続し、5検体ラックを使って検体を投入・回収するためのオプションです。自動発進機能により検体を次々に処理し、キャリブレータ、コントロールの測定も可能です。検体ラックハンドラCA-RA300は、BM6010と接続し、5検体ラックを使って最大300検体の同時架設が可能な、大量検体バッチ処理用のラックです。