クリーン状態が必須条件の半導体・液晶プロセスにおいて、パーティクルやコンタミネーションの発生・混入はあってはいけません。イワキはこのような繊細なプロセスに要求される、超純水や薬液の移送制御技術に、絶対的な自信があります。求められる課題を解決パーティクル薬液移送時のパーティクルの発生が少ない構造。超クリーンな製造プロセスに貢献します。等の高温液移送が必要な薬液に対応します。供給エアー圧力、最大0.7MPaのポンプを用意。高圧吐出が必要な各種プロセスに対応します。心臓部のベローズは定評のあるR形ベローズを採用。高圧吐出に耐え長寿命です。ダウンタイムの短縮メンテナンス性の高い構造で、スタッドボルトの定期的増締めが不要。プロセスポンプコントローラが流量・圧力を一定に制御。安定した薬液供給を行ないます。洗浄プロセス独自に開発したコンタミフリー構造が、パーティクルの発生を最小限に抑えます。洗浄プロセスの詳細フォトプロセスステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%(F.S.)以下の高精度を実現します。フォトプロセスの詳細CMPプロセス高圧吐出が可能なイワキのベローズポンプは、CMPスラリーも問題なく移送可能です。一覧へ戻る製品に関する情報カタログ、資料ダウンロード製品資料データ、カタログ、取扱説明書を会員サイトからダウンロードできます。ダウンロード方法については、こちらをご覧ください。※ダウンロードをするには、会員登録が必要です。会員登録はこちらカタログダウンロードイワキのサポートよくあるご質問、各種お問い合わせ、製品メンテンナンス動画など、イワキ製品のサポートについてご紹介します。選ばれる理由お問い合わせ難しい流体制御でお困りの際は、まずはお気軽にお問い合わせください。