FPD関連生産設備FPD関連生産設備FPD関連精算設備においては、レジスト塗布装置「ヘッドコーター」や液晶ガラス基板搬送ロボットを用いたオートローダーシステムの開発など、世代と共に大型化していくガラス基板への迅速な対応を行っています。CR-J1020CLカスタマイズ性に優れた高速・高信頼性を実現CR-J1020CLは、一辺が3,000mm以上の大型液晶ガラス基板を製造装置間で高速かつ安全に移載するための搬送ロボットです。スペースの補正機構により信頼性が向上するなどお客様の多様なニーズに対応できるようカスタマイズ性を充実させました。液晶ディスプレイに使われるガラス基板に感光剤(レジスト)を塗布する装置です。省液、省エネはもちろん、ガラス基板に額縁状に感光剤が塗布できることや液劣化が少ないことにより、ランニングコストを大幅に低減できます。第3世代から第10世代までのガラス基板の大きさに対応できるシリーズを取り揃えています。HLDシリーズコンパクト・高速ロボットにより、省スペースと高速搬送を実現ガラス基板をストックしているカセットから基盤を一枚ずつ取り出し、各プロセス装置へ搬送し、処理後カセットへ戻すシステムです。コンパクトで高速なロボットにより省スペース化と搬送時間短縮を実現。補正機能でカセットに触れずにガラス基板が取り出せます。第3世代から第10世代までのガラス基板の大きさに対応できるシリーズを取り揃えています。