GT45AGT65Aの最先端技術を適用、高い機能拡張性でさらなる生産性(ウェハアウトプット)向上を実現GT45Aは、最先端ArF液侵用光源であるGT65Aプラットフォームをベースとした、高い機能拡張性を備えたモデルとなっています。モデルGT40Aから引き継いだ「ヘリウムフリー」で、生産性の向上と環境負荷軽減を同時に実現します。90Wの高出力化を可能にし、お客様の多様なニーズに応えます。モジュール寿命延長GT65Aで導入・実績のあるモジュール寿命延長技術を、標準で搭載。メンテナンス頻度を低減させ、生産性向上に貢献します。高い機能拡張性GT65Aで使用可能な機能・技術を、搭載することが可能です。