KrFエキシマレーザーシリーズの第3世代モデル、G45Kは最先端メモリチップ生産効率向上に向けた、最大50Wの高出力モデルです。モジュール寿命延長と、グリーンテクノロジーによって「稼働率向上」と「環境負荷軽減」を両立します。従来比+25%の高出力パワー50Wを実現しました。最先端メモリチップの生産性向上に寄与します。主要モジュールの寿命を20%延長させ、メンテナンスによるダウンタイム低減を実現しました。これにより装置稼働率のさらなる向上が期待できます。装置稼働中のヘリウムの使用量をゼロにする“ヘリウムフリー”を標準搭載、またネオンガスリサイクルシステム“hTGM”を接続させることにより、オペレーションコストの削減と環境負荷の軽減に寄与します。