Spectrometer:EDS)は電子顕微鏡にアタッチメントとして装着し、電子線照射により試料から発生した特性X線を検出して元素分析を行う装置です。Detector)、高速アナライザー、分析ソフトを持つEDS分析システムです。「観察から分析までシームレスに」をコンセプトに、SEM/FIBとEDS同一メーカーならではのトータルデザインがなされています。電子顕微鏡画像と分析データを同一フォルダーに保管して「分析データ一覧」として表示できるため、スペクトル等、各種データを分かりやすく一括管理することができます。マップの配置をビジュアル的に把握することができ、広領域にわたるデータ管理も容易です。♦操作アイコン操作手順に沿ってアイコンを左から並べました。機能が一目で分かるように日本語表示をしました。♦インデックス画像インデックス画像から、取得済データを直感的に見つけることができます。分析視野の電子顕微鏡画像と分析データが、自動的に関連づけられて、同じフォルダーに保存されます。インデックス画像で視野を選択すると、分析データ一覧に視野に関連づけられたデータが表示されるため、データ管理を容易に行うことができます。ビジュアルピークID定性分析結果で正しく元素が同定されているかを確認できる機能です。定性分析結果で得られた元素を元に標準スペクトルから合成スペクトルを作製し、元素同定が適切になされているかを視覚的に確認することができます。ピーク形状が違うことが分ります。追加すると、ピーク形状が合致しました。含まれていることが確認できました。プレイバック一般的な元素マップは、ピクセル毎に全フレームのX線カウントを積算したスペクトルを保存します。元素マップは、各フレームの電子顕微鏡画像とスペクトルを保存しています。プレイバック分析では、測定後に元素マップをアニメーションのようにリプレイすることができます。これにより、元素マップ収集時の試料変形の有無や、加熱実験のようなIn-situ実験による元素分析の変化など、多角的に解析する事を手助けします。2モンタージュ画像や任意に取得した複数の電子顕微鏡画像から必要な領域のみを選択して元素マップを自動収集できます。これにより、不定形の領域を効率よく分析することができます。電子顕微鏡画像の輝度の違いから粒子等の特徴物を検出して、特徴物の形状情報を取得することができます。検出した特徴物を自動でEDS分析することもできます。EDSの分析測定対象とする特徴物は、反射電子組成像の輝度の他、大きさや形状等でも選択することができます。2と組み合わせることで、自動的に広範囲に渡る粒子解析ができます。EDS分析結果はもちろん、粒子径や面積などの粒子形状情報が記録され、それらの分布をグラフや表で示し、統計的な処理を行うことが可能です。♦全自動分析例(アスベスト)アスベストの形状は、針状となっています。粒子解析ソフトウェア2は、EDSの測定対象粒子にアスペクト比を設定することができ、試料中の針状粒子のみを識別して測定対象とすることができます。分析結果から、針状粒子がアスベストか否かを判定したり、その分析結果からアスベストの種類を特定したりすることができます。測定後に、各粒子と分析結果を再確認することも可能です。形EDS検出器のように液体窒素が不要です。そのため、メンテナンス性が向上し、必要なときにすぐに分析が行えます。使用することで、小さいプローブカレントでも元素分析を行うことができます。PlusをJSM-IT100およびJSM-IT100LVに装着する場合のみに利用することができます。JSM-IT100A、JSM-IT100LAに関しては、別の分析システムが適用されます。納入後のグレードアップについては別途ご相談ください。