ついて買い物かごを見る買い物かごカートに商品がありません。買い物かごに入れる※本体価格は変更される場合があります。※通常2〜3日以内で発送いたします。この商品について問い合わせる合計5000円(税別)以上のご注文の場合、配送料は無料となります。プラズマ中に素材を置き表面改質を行うプラズマイオンプロセス法は、半導体への応用技術においてその重要度を増してきている。本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、プロセスに求められる条件から、機能性薄膜の形成や半導体への応用技術まで幅広く解説する。