イオンエッチング装置ES403は、最大8インチウエハ単位でのエッチングが可能なドライエッチング装置です。等方性・異方性の両モードでのエッチングが可能。安定したエッチングレートと優れたユニフォーミティ。8インチウエハの処理が可能な大型ステージ。[エッチング量平均値]ポリイミドエッチングO2を使ってエッチングを行います。酸化膜、窒化膜エッチングCF4+O2を使ってエッチングを行います。reserved.ページトップ。