20:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。PF-AR入射の為、PF連続入射中断。8:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。PF-AR入射の為、PF連続入射中断。PF連続入射を中断し、AR再入射します。PF-AR再入射の為、PF連続入射中断。20:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。BL-21光モニターで10μm変動を確認。BL-21光モニターで56μm変動を確認。BL-21光モニターで+5μm,-2μm変動を確認。PF-AR入射の為、PF連続入射中断。BL-21光モニターで+46μm,-80μm変動を確認。8:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。PF-AR入射の為、PF連続入射中断。20:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。PF-AR入射の為、PF連続入射中断。8:30よりAR入射の為、PF連続入射を中断します。