開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。d'inspection.(JA)基板処理装置においては、処理ユニットにより複数の基板が順次処理される。処理ユニットによる基板の処理中に検査ユニットは、パイロットモードおよび検査モードで動作する。検査ユニットがパイロットモードにある状態で、パイロットデータ取得部が、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得する。レシピ生成装置は、取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピを生成する。検査ユニットが検査モードにある状態で、処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データと検査レシピとに基づいて基板の検査が行われる。