試料表面の極薄い層(数nm)の元素分析(水素、ヘリウム以外)、半定量分析(検出限界~0.1at%程度)および化学結合状態分析ができます。X線を照射するとX線に励起された原子から電子(光電子)が放出される。照射するX線のエネルギーが一定なので、光電子の運動エネルギーを測定すれば電子の結合エネルギーが求められる。内殻電子の結合エネルギーは原子によって固有の値を有するので、結合エネルギーを測定することによって元素の同定を行うことができる。原子の化学結合状態が異なると結合エネルギーの値は微妙に変化する。reserved.Twitterでリンクを。