微小流量の液体とガスの測定にご利用頂けます。Prestigeシリーズがバージョンアップをするとのニュースが入ってきました。2018年のアップデート内容は、本ブログ記事でお知らせしたとおりなのですが、2019年になって更に隠し玉的な内容があったようです。Prestigeシリーズはマルチガス対応として、25種類のガス種とそれらを最大5種まで任意濃度で混合したガスにガス切り替えが可能なデータを本体に内蔵していました。これは、FLOW-TUNEというブロンコストが配布しているソフトを使用して、windows-PCからユーザーサイドで簡単に切り替えが可能な優れものです。出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>これは素晴らしいことです。レンジ・分流構造により影響を受けてしまい、一種類のガスに対して一対一ではなく、一対多、つまりマルチCFであるという弱点をカバーすべく、ハード側で測定した温度、圧力条件で自動補正してくれるグレードを有する、真の意味での実ガス流量に限りなく近い流量測定・制御が可能なマスフローだったからです。800種を超えるデータが搭載されるとすれば・・・まさに鬼に金棒!真の究極にまた一歩近づいた姿に進化することになるからです。東京都江東区青海2-3-26)にて、半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会が行われ、参加してきました。流量計測クラブの傘下のWGとなるのですが、設立の背景に関して簡単にご説明しましょう。半導体製造プロセスにおいて、マスフローコントローラ(MFC)の実ガス流量精度の向上について、エンドユーザーや装置メーカーから根強い要望があります。それはDecoが現在、本ブログの連載記事“真・MFC千夜一夜物語”で取り上げている校正ガスと実ガスとの変換係数であるコンバージョンファクター(CF)の問題に関わっています。立上げ、実ガス流量の測定方法やCFの決定方法の標準化に向けたラウンドロビンテスト等を行ってきました。Force活動は終了したのですが、継続して標準化活動を行っていく必要性を感じた有志により、SGF-WGの発足が検討され、今回その説明会が行われたのです。SEMIでの活動の途中から参画していましたが、もちろんこのSGF-WGにも参加させていただき、少しでもお役に立てればと考えております。説明会を見た限り、半導体装置メーカーさん、材料メーカーさん、そしてもちろんMFCメーカーさんからも積極的に参加を検討頂いているようです。本ブログにあるDecoへのメッセージでお問い合わせください。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。