ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。(オプティカルマイクロスコピー)や、触針式プロファイリングシステム、トライボロジー/摩擦摩耗試験機で材料表面の検査・評価を行う装置を取り扱っています。装置では、これまでたくさんの新技術を提供しており、大変多くの研究者の皆様が計測で得られたAFMイメージあるいはSPMイメージを使って論文発表等をいただいております。他の顕微鏡では得られない液中での高分解能AFMイメージはライフサイエンスでは大変重要な情報を与えてくれますし、半導体等の基盤測定では非常な微細な粗さをAFMは計測してくれます。ポリマー試料では、ガラス転移温度での物性の変化をSPMモードが様々な情報を提供してくれます。半導体分野ではP/Nジャンクション、ドーパント濃度等非常な有用な情報の取得をSPMは可能にしており、更に今日はSPMによって機械特性の測定を短時間で可能にしました。SPMは驚異的進化を遂げています。SPM(走査型プローブ顕微鏡)をはじめとした製品ラインナップをご紹介させていただきます。