2018年5月号(4/25発売)は誌面の都合で休載となっています。5/25発売の6月号をお楽しみに!さて、マスフローメータ(MFM)のお話です。MFMを流量計として使用する場合に起きるトラブルを解説しましょう。熱式流量センサーを持つMFMはマスフローコントローラ(MFC)と同じく温度影響を受けます。熱の移動を捉えて流量に変換するセンサーですから、熱を伝える相手=流体温度の変化により感度差が生じるのです。100°Cの熱をヒーターで流体に伝える際に、流体温度が20°Cの場合と100°Cの場合を考えてみればよくわかるかと思います。流体温度に対して、補正が必要なのが熱式マスフローと言われる機器が搭載しているセンサーの特徴なのです。ほとんどのマスフローはこの流体温度を直接測定できてはいません。温度補償用のセンサーは、マスフローのボディ温度、もしくは基板上の温度を測定しています。これはマスフローの周囲温度=流体温度という考えからです。実際の現場ではそうはいかない場合も多々あります。ガス用のマスフローならば、その流体の供給源はガスボンベになります。そのボンベが設置されている場所は、たいてい室外もしくは室内でも温調の無い場所かと思います。そこで冬場に冷え切ったガスが、そのまま隣室の温調の効いた部屋に入ってきてマスフローに流入した場合、高い確率で先ほどの周囲温度=流体温度という状態は崩れてしまい、適切ではない温度情報を基にした補正が行われてしまうのです。この問題をクリアするには、流体温度をMFMの周囲温度とをイコールとするために熱交換器等を用いる、もしくは空調を工夫する必要があります。マスフローの温度影響値というカタログ仕様がありますが、これは適切な温度補正が入った場合の影響値ですので、誤解なきよう・・・*ちなみにマスフローのカタログに記載されている温度影響値と、体積流量計の温度圧力補正(温圧補正)をごっちゃにしている人を見かけますが、後者の値はあくまで体積流量を定めるには、温度と圧力条件を固定する必要があるから行う計算であり、流量計そのものの温度影響値とは別ものです。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。