Abstract本申請では、小型軽量の高電圧発生素子である圧電トランスを独自の方法で利用した小型放電プラズマリアクタの実用化を目的として、PTがつくる放電プラズマの性質を調べながら、各種プラズマリアクタの動作特性解析ならびに駆動用電源の開発を行った。PT型オゾン発生器では、PTの並列運転を採用することで大流量化が可能となり、オゾン発生量を従来の装置より3倍高めることができた。PTを用いた紫外線光源では、発光強度や発光効率が最大となる動作条件を明らかにした。