故障解析用ドライエッチング装置です。多層配線にも十分対応できる大きなアスペクト比、エッチング条件のメモリ機能等、専用機ならではの機能と使い易さを有しています。処理条件の保存、容易なメンテナンス仕様来歴の記録ペルチェ素子を使用したステージ温度調節プロセスガス配管にはVCR継ぎ手を採用ドライポンプにも対応エッチング実施結果ポリイミドエッチング酸化膜、窒化膜エッチングCF4+O2を使ってエッチングを行います。ES373は、等方性、異方性どちらも対応することが出来ます。酸化膜、窒化膜エッチング(ポリシリコンを除く)CF4+O2を使うとポリシリコンがエッチングされるために、選択比の高いCHF3を使います。ポリシリコンエッチングポリシリコンをエッチングする場合はSF6を使用します。樹脂エッチングO2を使い、樹脂をエッチングすることが出来ます。reserved.ページトップ。