チタンサブリメーションポンプ真空ポンプ.comは、真空ポンプや、真空技術を利用した商品開発などをご紹介するポータルサイトです。チタンサブリメーションポンプこのポンプは、チタンを用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。目的に使われるこのポンプは、チタンのゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。ゲッター作用とは、気体分子を吸着することで排気を行う作用のことをいいます。ガスなどを化学的に吸着することで、気体の真空度を高めています。短所オイルフリー、優れたメンテナンス性、イオンポンプと併用で極高真空が得られる(イオンポンプと併用)不活性ガスは排気できないこのポンプは、チタン蒸発用フィラメントを加熱し真空中に昇華させることによって、ポンプ内の壁面に気体となったチタンの蒸着膜を作ります。チタンのゲッター作用を利用することによって、気体の吸着を行い排気作用が働きます。吸着面がガス分子でいっぱいになっても、その表面にチタンの蒸着膜を重ねて作ることで吸着面を確保することができます。操作性に優れたポンプです。