M1というシリコンウェーハの径に関する仕様が1970年代に出版されて以降、多くのSEMIスタンダードが出版され、今年は1000件目の規格が出版されました。2019」期間中の12月12日に開催された「SEMIスタンダード授賞式・フレンドシップパーティ」では、日本地区スタンダード委員会により特段の功績を認められた諸氏の表彰式が執り行われました。期間中には、30近い数のスタンダード会議が開催、のべ約300名が参加されました。これらを含めますと、2019年を通じて、日本地区では、16技術委員会のシーズンごとの会議を含む150を超える会議が開催され、のべ1500名近い方々にご参加いただきました(人数には、Webにて遠隔参加された方も含まれます)。詳細は、以下のとおりです。受賞者と受賞理由は次のとおりです。https://www.semi.org/en/connect/events/semicon-japan-2019-standards-meetings)「SEMIジャパン国際協力賞」は、真白すぴか氏に授与されました。本賞は言語・文化の違いを克服し国際組織間の調整、国際間の大きな課題解決に特段の貢献があった個人またはグループに贈られます。先端半導体製造における汚染・パーティクルの付着は半導体の信頼性・歩留に大きな影響を与えるため、中長期的な課題となっておりました。Subsystems)とグローバルに展開するSEMIスタンダード活動連携に大きく貢献されました。氏は日本のメトリックス委員会を再開し、新たなタスクフォース活動の始動に力を注がれるとともに、北米と日本のスタンダード活動の連携強化に尽力されました。グループとして授与されました。A2」を完成させました。その技術的知見と、スタンダードドキュメント開発への真摯な取り組みが高く評価され、今回の受賞につながりました。「SEMIジャパン功労賞」は日本地区スタンダード委員会委員また技術委員会幹事を表彰するもので、委員会の新設・改廃・再編もしくは多くのタスクフォースの設立、長年にわたり技術委員会委員として、また、幹事として活躍された方に贈られます。本年度は山形健司氏に授与されました。しても、そのリーダーシップをいかんなく発揮されました。さまざまな活動協議の場において、ムードメーカーとしてスタンダード開発の円滑な運営を支えていただきました。(SNARF))が承認されました。主だった項目について、ご紹介します。5件が承認されました。Panelを収納するためのFOUPのスタンダード案に関するもので、これら5件の新規提案は、すでにタスクフォースメンバー間にて議論が進んでおり、2020年2月中旬にはBallotへの投票を受け付ける予定です。(同タイトルの6485は撤回されました。1件が承認されました。(同タイトルの6520は撤回されました。E170-0419:「レシピ管理システムの安全な基盤のための仕様(邦題)」が改訂されました。具体的には、シーケンス図、ID遷移を含むアプリケーションノートが追加され、よりわかりやすい文書になりました。Japan期間中のスタンダード関連プログラムTechSTAGEのプログラムとして、次の2つのワークショップが開催され、盛況のうちに終了しました。ご参加いただきました皆様にはお礼申し上げます。各ワークショップ詳細につきましては、別の機会に報告させていただきます。-装置部材メーカを巻き込んだ標準化の現状-」お問合せ本記事に関するお問合せは次にご連絡ください。