リンテック株式会社このページを印刷する印刷用ページについて「印刷用ページ」の内容は印刷用に最適化しており、通常の画面表示から一部省略しています。「印刷用ページについて」部分および「閉じる」ボタンは印刷されません。高輝度LED切断(ダイシング)プロセスの開発を進めていくことで同社と合意しました。ライティング見本市)」でも、この新プロセスを提案します。後工程にかかわる各種製造装置を有し、関連テープの貼付・剥離などのプロセス最適化提案を行っている。浜松ホトニクスでは、ICチップやLEDの製造工程において基板を切断し、個片化する新技術として、レーザーで基板内部に亀裂を形成し、エキスパンド(引っ張り)によって切断する「ステルスダイシング技術」を提唱しています。この技術は、通常のブレードダイシング(刃物による切断)に比べ、切断幅のロスが少ない、水洗浄をしない完全ドライプロセスのためダメージが少ない、あるいは切断くずが発生しないといったさまざまな優位性があります。今後、世界的な需要の急拡大が見込まれているLEDの製造プロセスにおいて、不可欠な要素技術になってくるものと業界で注目を集めています。浜松ホトニクスの技術と当社のテープ技術の融合により、次世代プロセスの確立へ当社は、浜松ホトニクスがステルスダイシングの技術を社外発表した当初から同社と連携して、ダイシングプロセスに不可欠な専用テープの要求性能について精査するなど共同開発を進めてきました。このたび、レーザーダイシングの妨げとなる金属膜を有する高輝度LEDに対し、同技術を導入した新しいダイシングプロセスを早期に確立するため、同社とさらなる連携強化を図ることにしました。半導体の後工程にかかわる各種製造装置を有する「アプリケーションセンター」に最新鋭のステルスダイシング装置を導入し、新プロセスの確立に向けて共同開発を進めていきます。Dicing)の確立に注力していく考えです。「ステルスダイシング技術」とは浜松ホトニクスが開発した、ICチップやLEDのダイシング技術。通常はブレードでダイシングするのに対して、レーザーで基板内部に亀裂を形成してから、エキスパンド(引っ張り)によって切断します。従来プロセスにおいて、ウェハを裏面からリングフレームに固定するために使用される特殊粘着テープの大手メーカーであるリンテックは、このステルスダイシングにおいても欠かせない基板固定用テープをはじめ、各種テープおよび関連装置の開発・提案に注力しています。Dicing)プロセス」とは浜松ホトニクスとリンテックが共同で開発・確立を進める高輝度LEDダイシングプロセス。金属膜を形成し、エキスパンドによって個片化します。専用テープには、過酷な環境下での最適な粘着性能はもちろん、高温のもとでの寸法安定性、さらにはアウトガスが発生しないなどといった特殊な性能が求められてきます。リンテックはその特殊粘着テープと、テープを貼付・剥離する装置の開発に注力しています。通常のレーザーダイシングでは、金属膜の影響により切断が不可能でしたが、金属膜を形成する前にステルスダイシングを行うことによって、サファイアおよび金属膜の切断を実現します。従来のブレードダイシングに比べ、切断幅のロスが少なく、歩留まりの向上を実現します。水洗浄をしない完全ドライプロセスのためダメージが少ない、切断くずが発生しないといった優位性があります。切断面の品質(平滑性)の向上に大きく貢献し、特に高輝度LEDにおいて、その性能の大幅な向上に寄与します。LED関連製品、タッチパネル関連製品などの販売ニュースリリースに関するお問い合わせリリース内容に関する報道関係のかたからのお問い合わせは、下記までご連絡ください。ニュースリリースの内容は発表日現在のものです。最新の情報と異なる場合がありますので、ご了承ください。