STEMPackスペクトルイメージングSTEMPackスペクトルイメージング走査モードが搭載されている透過型電子顕微鏡において、試料から詳細な分析データを取得するための効果的な手法を提供。トップに戻るメリット:STEMPackTMシステムは、走査モードが搭載されている電子顕微鏡において、試料から詳細な分析データを取得するための効果的な方法を提供します。走査モードで多様なデータを取得することで、走査した画像またはラインプロファイル内の正確な位置と関連付けた豊富な情報を取得できます。この方法は、スペクトルイメージング(SI)として知られる手法の基盤となるものです。スペクトルイメージングは指定された試料上の領域から、完全自動化されたプロセスで最大限の情報を収集します。STEMPackシステムは、電子エネルギー損失分光法(EELS)、エネルギー分散型X線分析法(EDS)、カソードルミネッセンス放出(CL)、吸収/誘導電流(EBAC/EBIC)、電子回折など、さまざまな検出器からのデータの取得をサポートします。それにより取得されたスペクトルデータを強力な処理と視覚化手法で分析することで、試料固有の詳細な情報が明らかになります。詳細なスペクトル情報と高い空間分解能を兼ね備えていることは電子顕微鏡法の最も強力な要素であり、この能力はSTEMPackシステムで実感できます。最新世代のEELSスペクトロメータは効率に優れ、重元素から非常に詳細なEELSスペクトルを数ミリ秒で取得できるため、膨大な情報から組成マップを作成できます。EELSを使用した生物由来物質の定量的調査EELSは、生物試料から組成情報を取得できる優れたツールであることが実証されています。組成に加え、EELSは、化学結合性やさまざまな酸化状態を解明する化学的な知見ももたらします。高コントラストで高SN比の高速原子EELS組成マップを高エネルギー端からいつでも取得できることを示しています。高エネルギー端を使用した原子EELSマッピングが非常に効率的であることを示しています。高エネルギー端で高いS/B比が得られるため、データ抽出が簡素化されます。MOSFET素子のゲートの元素分布を原子列レベルで明らかにできることを示しています。構成STEMPackスペクトルイメージングプラットフォーム、モデル777.U1STEMPackスペクトルイメージングプラットフォーム、高機能BF/DF検出器付き、モデル963.U5STEMPack高速スペクトルイメージングアップグレード、モデル777.U2STEMPack高速EDS取得アップグレード、モデル777.U3EDS取得スイート、モデル707.10回折イメージングスイート、モデル703.50スペクトル画像ステージマッピング、モデル703.70カソードルミネッセンススペクトルイメージングスイート、モデルCLSIシステムの構成、要件、および制限があります。詳細については、Gatanの担当者にお問い合わせください。