空気中からゴミ、塵埃などを取り除き、清浄空気にする目的で使用するエアフィルタの一種である。空気清浄機やクリーンルームのメインフィルタとして用いられる。μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」と規定されている。HEPAフィルタの粒子捕集効率をさらに上げたULPAフィルタというものもある。μm以下のガラス繊維でできている。粒子の捕集機構は以下の原理からなる[1]。粒子が静電気力を受けて繊維に引かれるこの内さえぎり、慣性、重力効果は粒子が大きいほど強く、ブラウン運動、静電気効果は小さいほど強くなる。μmで捕集効率の極小値をとる。組込み用にHEPAフィルタを採用したファンユニットが使われる。クリーン度クラス100~10,000までに対応し、高いクリーン度を要求されるような半導体や液晶、医薬品や食品などに適している。現在の主流となっているファン式空気清浄機のハイエンド機種にはHEPAフィルタを使ったものが多い。高性能なULPAフィルタを採用したものも発売されたが、過剰性能のため、採用する機種は少なくなっている。家庭用掃除機の中でもハイエンド機種にはHEPAフィルタを使ったものが多い。これはハウスダストによるアレルギーへの関心の高まりによる。原子力施設では、換気後の空気は気体廃棄物として排気設備から排出する際に、排気中の放射性微粒子を除去するためにHEPAフィルタが使用されている。日本規格協会、2001年、130頁。4-542-90189-0。3.0のもとで利用可能です。プライバシーデスクトップ。