高いフレキシブル基材上にシート抵抗値が十分に小さく、湿熱条件後においてもシート抵抗値の上昇が抑制できる透明導電層を具備する透明導電性フィルム及びその製造方法並びに透明導電性フィルムを用いた電子デバイスを提供する。【解決手段】フレキシブル基材11の少なくとも片面に、(A)珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有するコート材料からなるアンダーコート層12と、(B)透明導電層13とが順次形成された透明導電性フィルムとする。【請求項1】フレキシブル基材の少なくとも片面に、(A)珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有する材料からなるアンダーコート層と、(B)透明導電層とが順次形成されることを特徴とする透明導電性フィルム。前記透明導電層が金属酸化物を含む透明導電性材料からなることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性フィルム。前記化合物が珪素、炭素及び酸素からなるシラン系化合物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の透明導電性フィルム。前記化合物がアルコキシシラン化合物であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の透明導電性フィルム。前記化合物の含有量が、前記アンダーコート層の材料の固形分100質量部に対して、0.005〜5質量部であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の透明導電性フィルム。初期のシート抵抗値をR0、60°Cdryで7日間、及び60°C90%RHで7日間の環境で保管した後のシート抵抗値をそれぞれR1、R2としたとき、シート抵抗値の変化率T1=(R1−R0)/R0、T2=(R2−R0)/R0の値がそれぞれ1.0以下であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の透明導電性フィルム。あり、ガリウム、インジウム、アルミニウム、ホウ素、珪素の少なくとも1種類を含むものであることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の透明導電性フィルム。請求項1〜7の何れか1項に記載の透明導電性フィルムを用いたことを特徴とする電子デバイス。本発明は透明性と安定した導電性を達成する透明導電性フィルムとその製造方法並びに透明導電性フィルムを用いた電子デバイスに関する。表示媒体や太陽電池などに利用される透明導電性フィルムの透明導電膜は、透明導電性材料としてスズをドーピングした酸化インジウム(ITO)が広く使用されている。ITOは安定した導電性および透明性を有している一方で希少金属であるインジウムを使用しているために、コスト的な課題を抱えている。ITOと同等な性能を持つような透明導電膜の発明や開発も数多く報告されている。高い透明性と安定した導電性の両立を成し得る可能性のある透明導電性材料として酸化亜鉛(ZnO)が挙げられる。ZnOはITOと比較して透明性に優れるような報告があるが、水分や熱に対してシート抵抗値が上昇するといった課題を抱えている。この課題に対して非特許文献1は、透明導電性材料として酸化ガリウムを10%以上ドーピングした酸化亜鉛を透明導電膜とすることで湿熱条件後においても安定したシート抵抗値を示すことが開示されている。【0003】しかしながら、この報告では導電膜の厚みが400nm程度であること、高価な酸化ガリウムを10%以上ドーピングしているために生産性やコスト的な課題を残している。この非特許文献1はガラス基板を使用しており、且つフレキシブル基板に関しての記述がなされていないため、フレキシブル基板に対しての適応性は未知である。【0004】また、フレキシブル基板については、プラスチックフィルムを用いた報告例として特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4が挙げられる。特許文献1および特許文献2ではフレキシブル基板としてアクリル樹脂フィルム上に酸化亜鉛系導電膜を設けた積層体に関して開示されている。特許文献3ではオレフィン系樹脂を含む透明基板上に酸化亜鉛系導電膜を10〜150nm設けたことを特徴とする積層体が開示されている。いずれも湿熱条件後においてのシート抵抗値の安定性を十分に満足するレベルではない。これらのプラスチックフィルムは、耐屈曲性が不十分であり、屈曲後にシート抵抗値が上昇してしまうことがあった。【0005】また、特許文献4にはシクロオレフィン樹脂を主成分とするフィルム上に酸化亜鉛を主成分とする透明導電層、さらにこの酸化亜鉛層の上にダイヤモンドライクカーボン膜を形成するような構成体が開示されている。【0008】そこで、本発明は、汎用性の高いフレキシブル基材上にシート抵抗値が十分に小さく、湿熱条件後及び屈曲後においてもシート抵抗値の上昇が抑制できる透明導電層を具備する透明導電性フィルム及びその製造方法並びに透明導電性フィルムを用いた電子デバイスを提供することを課題とする。上記課題を解決するために、本発明者は鋭意検討を行った結果、プラスチック等のフレキシブル基材上に珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有する材料からなるアンダーコート層を形成した後、透明導電層を形成することにより、湿熱条件後及び屈曲後においてもシート抵抗値の上昇が抑制でき、シート抵抗値が小さい透明導電層となることを見出し、本発明を完成するに至った。【0010】すなわち、かかる本発明は、フレキシブル基材の少なくとも片面に、(A)珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有する材料からなるアンダーコート層と、(B)透明導電層とが順次形成されることを特徴とする。【0011】また、前記透明導電層が金属酸化物を含む透明導電性材料からなることが好ましい。【0012】ここで、前記化合物が、珪素、炭素及び酸素からなるシラン系化合物であるのが好ましい。【0013】また、前記化合物がアルコキシシラン化合物であることが好ましい。【0014】また、前記化合物の含有量が、前記アンダーコート層の材料の固形分100質量部に対して、0.005〜5質量部であることが好ましい。【0015】また、初期のシート抵抗値をR0、60°Cdry(10%RH(相対湿度)以下)で7日間、及び60°C90%RH(相対湿度)で7日間の環境で保管した後のシート抵抗値をそれぞれR1、R2としたとき、シート抵抗値の変化率T1=(R1−R0)/R0、T2=(R2−R0)/R0の値がそれぞれ1.0以下であることが好ましい。あり、ガリウム、インジウム、アルミニウム、ホウ素、珪素の少なくとも1種類を含むものであることが好ましい。本発明の透明導電性フィルムの製造方法は、フレキシブル基材の少なくとも片面に、珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有するコート材料からなるアンダーコート層を形成し、次いで、前記アンダーコート層上に透明導電層を形成することを特徴とする。あり、ガリウム、インジウム、アルミニウム、ホウ素、珪素の少なくとも1種類を含むものであり、当該透明導電層をイオンプレーティング法で成膜することが好ましい。【0019】また、本発明の電子デバイスは、前記透明導電性フィルムを用いたことを特徴とする。【0020】かかる本発明によると、汎用性の高いフレキシブル基材上にシート抵抗値が十分に小さく、湿熱条件後及び屈曲後においてもシート抵抗値の上昇が抑制できる透明導電層を具備する透明導電性フィルム及びその製造方法を提供することができる。本発明の透明導電性フィルムは、湿熱条件後及び屈曲後においてもシート抵抗値の上昇が抑制できるため、これを用いることにより、ディスプレイ、太陽電池等の電子デバイスを提供できる。【図1】一実施形態に係る透明導電性フィルムの概略断面図である。※以下のタグをホームページ中に張り付けると便利です。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。