MODEL-WGT本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより処理します。熱分解後の生成物(SiO2粉、酸性ガス等)は同パッケージ内のウェットスクラバーにて後処理します。燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。最大処理流量500l/min(4ポートまで対応可)の排ガスに対応可能です。壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる循環ポンプトラブルを防止します。各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。W×D×H(mm)900×1,000×2,000※燃料ガスとしても、都市ガスにも対応可能です。パイオクリンは、大風量のもとでも極めて優れた処理能力を有します。reserved.HOME|企業情報|製品情報|サイトマップ|ガス精製装置|排ガス処理装置|酸素マスク|お問い合わせ|採用情報|個人情報保護|。