けの装置をご紹介します。特定位置からのプラズマ発光を光ファイバーで分光計に導く装置です。スパッタプラズマ中の各種励起種やイオン種の同定に利用しています。マグネトロンプラズマ生成機構の理論との比較を行ってみたいと考えています。アレイでカバーしています。状態の変わりやすい点火直後のプラズマ観測などには有利です。社製のカメラを元に改造しました。カメラのレンズは合成石英石英の平凸単レンズに置き換えています。石英のものを用いています。焦点が結ぶ位置にファイバーの端が来るようになっています。更新)戻る馬場研究室のホームページへ。