6a中以B为标记的谐振器,或者是图6a中以A为标记的谐振器。其中A谐振器面积与B谐振器面积之比为1.2。这种实施例示于图12。缩短了工艺时间,降低了成本。601,振荡器块620,控制块640,显示器652和键盘654。通过显示器652向用户显示信息,通过键盘654从用户接收命令。滤波器组302a、302b、302c和302d都可以具有如图8a所示的结构。302a、302b、302c和302d。Au、Mo或W这样的金属制造。例如,牺牲层可以用铜(Cu)作为材料生产。乙烯醚,聚苯,聚对亚苯基二甲基-n,聚对亚苯基二甲基-f,或者苯环丁烯(benzocyclobutene)。例如氧化锌(ZnO)。