MODEL-WGHNF3を許容濃度(10ppm)以下に分解します。除害装置出口のガスには、CO2、NOx、HFが含まれません。270°Cからの低温運転による除害が可能です。NF3分解後のフッ素化合物はカートリッジ内に固定されますので、2次スクラバー設置の必要がありません。(排水処理設備が不要です。)カートリッジ式なので、能力を消耗した除害筒の交換が安全にできます。(THF、酢酸ブチルなど)とPb、Zr、Tiなどの有機金属錯体を高効率かつ安全に除害します。酸化触媒の作用により温度領域250°C〜、有機溶媒の爆発下限以下での大気混合比で完全酸化が可能です。ヒータ加熱方式により、プロパンなどの燃焼燃料を必要とせず、CO2の排出量を低減します。フィルタの設置により、生成する金属酸化物の装置外への排出を防止します。圧力、温度監視によって安全性を確保します。reserved.HOME|企業情報|製品情報|サイトマップ|ガス精製装置|排ガス処理装置|酸素マスク|お問い合わせ|採用情報|個人情報保護|。