(5).(JA)拡散供給源を針状電極の先端により近くに配置しても電場の影響の影響を抑え、安定した長期エミッション特性が得られる電界放出型電子源およびそれを用いた荷電粒子線装置を提供する。サプレッサ電極4の開口部5より突き出した針状電極1の部分を除いて、フィラメント3及び針状電極1を覆うようにサプレッサ電極4が配置され、針状電極1の周りには、その表面に拡散されるジルコニアを供給する拡散供給源9が形成されており、拡散供給源9は、少なくともサプレッサ電極4に覆われた部分においては10μm以上の厚さを有し、開口部5より突き出した部分においては100nm以上の厚さを有する。