静電チャック、ヒータ、センサの展示を致します。弊社ブース迄お立ち寄り下さい。行い、全世界に供給しているメーカです。アプリケーションを問わず、要望に応じたサービスを展開しております。弊社では主力製品として、真空中でワークを把持する静電チャックを長年供給しております。近年では、薄膜搬送として静電チャックを使用した提案でご興味をいただいております。み立てまで総合提案致します。センサによるワーク状態のモニタリングやパーティクル対策アイテムも提供しております。その他にも、電源を必要としない環境へ配慮した吸着製品の取り扱いもおこなっております。発生したパーティクルを捕捉し飛散を防止します。様々な微細加工プロセスに適応可能です。Info・静電気力を用いて、浮遊パーティクルを捕捉します。・柔軟なシート構造で設計自由度が高く、曲面への実装、大面積化も可能です。・捕捉したパーティクルを除去することにより、繰り返し使用可能です。・真空~大気中問わず発塵箇所にご使用頂く事でパーティクルによる歩留りの低下を回避する事が可能です。Info・導体ワーク、絶縁体ワークなど用途に合わせたキャリアのご提案が可能です。・無給電状態で固定可能となりますので、搬送工程でもご使用頂けます。・設計自由度が高くワークサイズやステージ形状に合わせた設計が可能です。・ワークに適合したレシピの設定でスムーズなデチャックが可能です。Info・高純度樹脂パッドを採用。・耐熱温度:-30°C~150°C(連続使用温度)大気中・真空中で使用可能です。・ミニマムコンタクトにより、デフォーカスの原因となるウェハ裏面の傷やパーティクルの付着を低減する事が可能です。高速搬送や高精度搬送を実現する事が可能です。・大幅な設計変更を必要としない為、既存装置への導入が容易です。Info・ウェハに優しいポリイミド樹脂を採用し、特殊エンボス化によりウェハとのミニマムコンタクトを実現しました。・ウェハを傷つけないため、ウェハ裏面のパーティクル量を低減することが可能です。・エンボス化によりウェハと静電チャック間に均一に温調ガスを満たすことが可能になり、高い温度均一性を実現することが可能です。Info・ご採用プロセスに合わせた施工方法と材料の選定により、最適な皮膜を実現致します。・下地処理の最適化により、洗浄による皮膜の剥離を防止します。