平滑化、BG除去、Kα2線除去、ピークサーチ、といった従来のデータ処理に加えて、プロファイルフィッティングを用いて、ピーク情報をより精密に求めることが可能です。経験が詰まった「拡張フーリエ解析」を使用すれば、経験の浅い方でも簡単に解析を始めることができます。「グローバルフィット機能」(特許出願中)を用いれば、実際の膜構造が設計値にあまり近くない場合でも、真の構造を求めることが可能です。拡張ロッキングカーブ解析これまで困難だったすれすれ入射によるシミュレーションや、あらゆる晶系、格子マッチングでのシミュレーションが可能になりました。HTML/スタイルシートによるレポート機能も充実しています。(特許出願中)最新の理論に基づいたシミュレーション・パラメーター最適化により薄膜の解析時間を大幅に短縮します。(Low-k膜)の評価X線を試料表面すれすれに入射すると、表面構造や薄膜構造を知ることができます。ポピュラーなすれすれ入射X線測定はX線反射率測定です。X線反射率測定は薄膜材料を問わず、高精度に密度・膜厚・ラフネスを算出することが可能で、多層膜の薄膜構造解析に利用されています。表面が平坦な物質の表面すれすれにX線を入射すると、X線に対する物質の屈折率は1よりもわずかに小さいため、試料表面で全反射を起こします。表面や膜の界面で反射され、試料表面への入射角度を連続的に変化させると、互いに干渉したX線の強度は振動として観測されます。MapperソフトREX2000上記以外の製品をお問い合わせに追加する場合、下記より装置の種類をお選び下さい。タロウE-mailアドレス例)info@rigaku.co.jp(英数字半角)こちらのアドレスにお問い合わせ内容の確認メールを送らせていただきますので、お間違いのないようご入力願います。例)042-544-9795(数字半角)ご意見・ご要望(1000文字まで)その他ご意見・ご要望等がございましたら、こちらにお書き添えください。ご記入いただいた個人情報は、本件に関するお客様へのご連絡に利用させていただくことがあります。