modeを用いて質量スペクトルを取得した。結果と考察2H2O導入直後の二相ステンレス鋼表面のイメージング結果を図2(a)に示す。2H2Oの導入により、2H-はC-およびCN-と異なる相において、高濃度に分布していることがわかる。そこで、EPMAによりTOF-SIMSの分析領域を含む部分を観察し、Ni、CrおよびMoの分布情報を取得した(図2(b))。その結果、CrおよびMoの濃度が高い領域がフェライト相、Niの濃度が高い領域がオーステナイト相であることが示され、CおよびNはオーステナイト相において、2Hはフェライト相において、高濃度で分布していることが明らかとなった15)。2H2O導入後の二相ステンレス鋼表面のイメージング(a)およびEPMAによる金属組織学的分布(b)[15)より引用]TOF-SIMSでは、1ピクセルごとに質量スペクトルを取得することができる。そこで、さらに微小領域における軽元素の濃度分布を調査するため、各ピクセルから得られた二次イオンのシグナルカウントを用いて相対濃度に関する定量評価を行った。counts/pixel(mc)に対するパーセンテージを算出した。その値を基に分析領域を15分割し、それぞれの領域から取得された2H、FeN、CrおよびNiのピーク積分値を算出して、Feのピーク積分値により規格化をした。本手法を用いて、Cの濃度に対する各元素の濃度分布を示した結果が図3である。Cの濃度増加とともにCrおよびNiの濃度が緩やかに変化し、さらに、これらは逆相関を示すことが明らかとなった。CおよびNiの濃度が高い領域をオーステナイト相と定義すると、相内の一部に、Cr濃度の高い領域が存在することが示唆された。オーステナイト相において、高濃度を示すFeNに着目してみると、Cの濃度増加とともに、その値も増加する一方で、同相内においてCとは異なる濃度分布を示す領域が存在することが示された。導入した2Hについては、Crと類似した推移が確認されたが、フェライト相では、2H濃度がC濃度とともに増加するのに対し、Cr濃度は低下することが明らかとなった。各元素の濃度が特徴的に変化する領域を組織学的に調査するため、相関図をもとに分析領域を6分割し、Cのイメージングに緑色の領域としてオーバーレイで表示した(図4)。フェライト相では、Crおよび2Hの濃度が高く、特に2Hは、オーステナイト相との界面付近に高濃度で分布していることが明らかとなった。一般にオーステナイト相は、fcc結晶構造を有するため、bcc構造を有するフェライト相と比較し、軽元素が固溶されやすいとされている。本手法では、オーステナイト相内においても、CおよびN(FeN)の濃度に偏りが確認された。CrとCの濃度が相関を持たない領域が存在することが明らかとなった。このようなオーステナイト相内における偏析形成は、ステンレス鋼製造プロセスにおける熱処理の影響と推察される。分析領域を二相ステンレス鋼構成元素および導入2Hの濃度変化により6分割し、Cの分布にオーバーレイで表示した。イメージングの緑の領域がこれにあたる。TOF-SIMSの歴史は比較的新しく、装置開発分野においては勿論のこと、分析技術や解析手法の観点からも、未だ未開発な領域が存在する。膨大なデータを必要に応じて、適切に処理する手法の確立が求められている現在、本評価法は、微小部における軽元素の濃度分布を組織学的に調査する手段として、有用なものと結論付ける。有機材料の分析(一次イオン種と有機分子の可視化に関する評価)背景TOF-SIMSの一次イオン源として、現在、最も利用されているBiクラスターイオンは、電界放射により生成されることから、高いビーム収束性を有する。一方で、Arn+などの巨大クラスターイオンと比較すると、高質量側の分子は、ビームダメージを受けやすく、感度が低下するという難点がある16)。イメージング分析において、空間分解能を決定する因子は、プローブのビーム径と分析対象の感度である。limitを超えると表面損傷の影響が大きくなることから、発生する二次イオンの数は低下する。微小領域において有機分子の分布情報を取得するためには、複数の分析条件を最適化することが求められる。一方で、一次イオンの種類や対象分子により、その最適値が異なることから、エンドユーザー間において測定条件の統一化がなされていないのが現状である。して、N,N'-Di(1-naphtyl)-N,N'-diphenylbenzidine(C44H32N2、NPD)および4,4',4''-Tris[2-naphthyl(phenyl)-amino]-triphenylamine(C66H48N4、2-TNATA)を用いた。