like.将聚光器56贴附在上述外壳53的端部。该聚光器56包括偏转镜561、掩模部件562和聚光物镜563,如图4所示。该掩模部件562具有一个宽度为A而长度为B的矩形开口562a,如图5所示。在成形前,该掩模部件562的开口562a比该脉冲激光束50的圆形截面(由图5中的双点链线表示)小。562的开口562a相似。562的开口562a的像。将该掩模部件562和该聚光物镜563之间的间距设定为d1,将该聚光物镜563和该半导体晶圆2之间的间距设定为d2,并且该间距d2大于该聚光物镜563的焦距“f”,而且满足d2=(d1×f)/(d1-f)。因此,当上述掩模部件562的开口562a的宽度A为400μm而长度B为800μm,并且该掩模部件562和该聚光物镜563之间的间距d1与该聚光物镜563和该半导体晶圆2之间的间距d2的比值(d2/d1)为1/20(d2/d1=1/20)时,该脉冲激光束50的矩形光斑“s”具有20μm的宽度H和40μm的长度L。换句话说,为了获得宽度H为20μm而长度L为40μm的光束斑“s”,当将上述(d2/d1)设定为1/20时,该掩模部件562的开口562a必须具有400μm的宽度A和800μm的长度B。为了获得宽度H为20μm且长度L为20μm的正方形光束斑“s”,当将上述(d2/d1)设定为1/20时,该掩模部件562的开口562a必须具有400μm的宽度A和400μm的长度B。