NEWS:日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。spectrometry、SIMS)は、産業応用を目指した新規材料開発のための重要な評価手段として位置づけられており、その分析の対象は、金属、半導体、セラミックからポリマー、生体組織と多岐にわたる。スパッタリングやイオン励起など、固体表面と一次イオンとの相互作用により生じた二次イオンの質量を計測することで、表面や界面を構成する成分の評価・解析を行う本手法は、バックグラウンドが低く、感度が高いという特徴を有する(図1(a))。Sector、MS)や四重極型(Quadrupole、Q)が採用されていた1、2)。SIMS法が確立されると、分析の対象は有機材料へと広がりを見せる3)。ions/cm2)に止める本手法により、表面構造の損傷が抑制され、分子状態でのイオン化が可能になった。情報を得る手段へと応用範囲を広げる。Flight、TOF)が採用されるようになった。GmbH)は、大学の共通機器として、研究所内外から分析依頼を受け、測定データの提供を行っている(図1(b))。Biクラスターイオン源を搭載する本機種は、分析条件の設定により、無機から有機まであらゆる材料の評価・解析を行うことが可能な装置である。一方で、このような大型装置を所有する大学研究機関は限られており、装置の共同利用を推進する試みが全国的に行われている。始めとする、5つの附置研究所からなる全国規模のネットワーク型研究拠点で、大学の枠を超えた共同研究への取り組みを推進する支援を行っている9)。通して、他大学と共同で得た成果について紹介するとともに、TOF-SIMSの特性、応用範囲の可能性をお伝えしたい。プラントなど様々な用途に利用されているが、その機械的特性には結晶構造において格子間位置を占有している微量の軽元素の存在が大きな影響を及ぼしている。その中でも水素は、鋼材への溶解度が低い一方で、室温での拡散速度が非常に大きいため、その挙動を解析することは困難とされている10、11)。有する特徴から、鉄鋼中に含まれる微量の炭素やホウ素等の挙動を調査する手段としても利用されている12、13)。SIMSとは異なり、TOF-SIMSによる深さ方向分析では、プローブと併用して、スパッタリング専用のビームを用いるデュアルビーム法が採用されている14)。TOF型の分析計では、その引き出し電極に断続的に電圧を印加させるため、低加速でのエッチングが可能でありながら、高い透過率も達成される。mass%)とし、重水素水(2H2O)の陰極チャージ法により重水素を24時間導入させた後、電解研磨を行うことで作製した。