[0001]【発明の属する技術分野】本発明は、センサの駆動回路に関し、特には、加えられた圧力に応じて出力電圧または出力電流を変化させる半導体圧力センサの温度補償回路を備えたセンサ駆動回路に関する。JP-A-7-113709に圧力差測定方法及び変位測定装置が開示されている。図2に、この従来例の変位測定装置の構成図を示す。art.【0003】図2に示す変位測定装置200は、両面に圧力差を受け変位するダイヤフライム1と固定電極間3,4間の静電容量C1,C2を検出して圧力差を求めている。このような静電容量を測定する装置においては、高精度に測定する為にはダイヤフライムの変位と無関係な浮遊容量の測定レンジや温度による補正をする必要がある。C2,このデータから浮遊容量の補正や、圧力検出に必要な定数を求めてメモリ204に記憶している。この較正を予め定められた各温度で行って、定数をこの温度ごとに記憶している。測定モードにおいては、センサ201によりキャパシタンスを測定するとともに温度検出器214によって測定温度も同時に測定する。207、V/I変換器209を介して変換器出力とする。その結果、補償コンデンサーなどのハードを用いて行う調整を、測定精度を損なわずに簡潔化している。D変換器203を経てデジタル信号に符号化し、そのデジタル信号をマイコン205で論理的な温度補償を行っていた。[0005]【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した変位測定装置200においては、センサ201のアナログ出力を一旦マイコン205を介してデジタル信号に変換した後にデジタル的に温度補償等を行っていた。従って、A/D変換器やタイマカウンタといったデジタル回路を構成するデジタルIC数が多くなる為、回路の規模が大きくなり、更に回路に必要な部品の費用及び組み立て時間がかかることから製品の値段が高くなるという問題点があった。compensation05で行うことを考えた場合、補償用のソフトウェアが必要となり、生産コストの上昇につながってしまうといった問題点もあった。装置の温度補償精度を高める為にはA/D変換器203及びD/A変換器207の測定精度を高める必要があり、この様な高精度化に伴い生産コストが高くなるといった問題点もある。also.【0006】本発明は、このような多くの問題点を解決することを課題としており、センサの駆動回路において、温度補償手段にデジタル補償手段を用い、デジタルトリマを介してデジタル回路のCPUとアナログ回路の演算増幅手段とを結合してオフセット調整及びゲイン調整をするハードウェア構成とすることによって、センサの温度補償に対し高精度かつ回路規模の小さいセンサ駆動回路を提供することを課題としている。1,感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいてセンサの温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサ回路の温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有することを特徴とする圧力センサ駆動回路である。sensor.【0008】請求項1記載の発明によれば、感温手段からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段を用いてデジタル制御によって実行しているので、感温手段の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、回路構成の規模を簡素化できる。これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路を実現できるといった効果を奏する。デジタル制御とすることによって、予め素子の温度較正を行ってその較正値を記憶部に保存し利用することができる。この結果、記憶部に保存されたデータを基にセンサの温度補償を瞬時に行うことが可能となる。on.【0009】請求項2の発明は、感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいて温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサの温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有し、前記デジタル補償手段が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有し、前記デジタルトリマの抵抗値に基づいてセンサ信号の増幅手段のオフセット値の補償とゲイン調整とを行うことを特徴とする圧力センサ駆動回路である。trimmer.【0010】請求項2の発明によれば、デジタル補償手段に、デジタル信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有することによって、アナログ回路とデジタル回路とを簡潔に結合している。センサ信号の増幅手段のオフセット調整用抵抗とゲイン調整用抵抗とにデジタルトリマを用いることによって、CPUからのデジタル信号によって増幅手段の温度補償を行うことを可能としている。これによって予め記憶部に記録されたデータを基に各増幅手段のオフセット調整が可能になる。測定精度を要しないデジタルトリマの抵抗値の選択制御にCPUを用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサの温度補償制御や増幅器のゲイン補償とオフセット補償にアナログ出力調整回路を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。複数の増幅手段のオフセット調整用抵抗及びゲイン調整用抵抗を一つのデジタルトリマで構成できるので、従来は各増幅手段毎に必要であったオフセット調整回路及びゲイン調整回路を一括し回路規模を小型化できるといった効果を奏する。reduction.【0011】請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載のセンサ駆動回路において、センサの出力を増幅する増幅手段と、前記増幅手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要オフセット範囲に調整する制御部を有している。Te.【0012】請求項3記載の発明によれば、請求項1及び請求項2に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、これによって温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を可能としている。増幅手段のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段を用いることにより、増幅手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0013】請求項4の発明は、請求項1乃至3に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を増幅する増幅手段を有し、前記増幅手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。using.【0014】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃至3に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、更に増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を行っている。これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0015】請求項5の発明は、請求項1乃至4に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。signal.【0016】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃至4に示した効果と同様の効果を奏する。センサの出力を差動手段を用いて検出し、更に差動手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0017】請求項6の発明は、請求項1乃至5に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。signal.【0018】請求項6記載の発明によれば、請求項1乃至5に示した効果と同様の効果を奏する。6記載の発明によれば、センサの出力を差動手段を用いて検出している。増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0019】請求項7の発明は、請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のオフセット値の調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。signal.【0020】請求項7記載の発明によれば、請求項1乃至6に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のオフセット調整を行っている。これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0021】請求項8の発明は、請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。using.【0022】請求項8記載の発明によれば、請求項1乃至7に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、加算手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0023】請求項9の発明は、前記センサが、半導体圧力センサであることを特徴とする請求項1乃至8に記載の圧力センサ駆動回路である。sensor.【0024】請求項9記載の発明によれば、半導体圧力センサの駆動回路に請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路を用いている。半導体圧力センサは小型でかつ感度が大きいが、一般的には温度依存性が大きいという特徴を有する。請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路では、感度の優れたセンサのアナログ出力をアナログ回路で増幅する手段を用いている。温度補償に関しては、高速な自動制御が可能であるデジタル回路を用いている。デジタルトリマを用いてデジタル回路とアナログ回路の接続を行い、更に補償回路の簡潔化を行っている。その結果、小型かつ高速自動制御かつ高感度を有する圧力測定装置を実現することが可能となるといった効果を奏する。[0025]【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明の一実施形態である圧力センサ駆動回路10の構成図である。本実施形態の回路は、圧力センサ20、圧力センサ20の温度補償を行うデジタル補償手段30、圧力センサ20からのアナログ信号を増幅してオフセット調整とゲイン調整とを行う為のアナログ出力調整回路40を中心に構成されている。temperature1、感温手段31のアナログ信号をデジタル信号に変換する為のA/Dコンバータ32、デジタル信号を処理し温度補償の為の調整抵抗値を決定するCPU33、及びCPU33からのデジタル信号に従って抵抗値を変えるデジタルトリマ34を中心に構成されている。この様に温度補償をデジタル補償手段30とすることによって、予め較正し記録されたデータを基にCPU33が温度補償の制御を行っている。その結果、センサ20の温度補償に関して、CPU33による自動制御と高速処理を可能としている。33.【0027】アナログ出力調整回路40は、圧力センサ20からのアナログ信号を差動モードで検出して増幅する差動手段41、圧力センサ20の温度補償の為のゲイン調整を行う増幅手段42、オフセット調整を行う為の加算手段43を中心に構成される。CPU334の抵抗調整によって差動手段41と増幅手段42と加算手段43のゲイン調整とオフセット調整を行い、センサ20の温度補償を行っている。20.【0028】この構成によって、センサ20の温度を測定する感温手段31からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御してセンサ20の温度補償を行うデジタル補償手段30を有し、デジタル補償手段30が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できる複数の可変抵抗部を有するデジタルトリマ34を有し、CPU33によって個々に制御されるデジタルトリマ34の可変抵抗部の抵抗値に基づいてセンサ信号の複数の増幅手段42のオフセット値の補償とゲイン調整とを一括して行う圧力センサ駆動回路10となる。accuracy33を用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサ20の温度補償制御や増幅器42のゲイン補償と増幅器43のオフセット補償にアナログ出力調整回路40を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。圧力センサ20の出力調整にアナログ出力調整回路40を用いることによって、圧力センサ20の高感度性を有効に活用し、かつ感温手段31の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、部品点数が大きくなる回路をコンパクトに構成できるアナログ回路を用いることにより、回路構成の規模を簡素化できる。これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路10を実現できるといった効果を奏する。温度補償手段をデジタル補償手段30とすることによって、自動制御と高速処理を可能とし、温度補償の調整も容易にしている。デジタル補償手段30とアナログ出力調整回路40の接続にデジタルトリマ34を用いることによって、2つの回路を簡潔に接続し、かつ安価にすることを実現している。inexpensive.【0030】なお、アナログ出力調整回路40の中の増幅手段42として、具体的にはオペアンプ等を用いた非反転増幅回路42を用い、非反転増幅回路42のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整することもできる。非反転増幅回路42のゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。非反転増幅回路42のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段30を用いることにより、圧力センサ20の出力の温度補償を行うと同時に非反転増幅回路42の温度補償を行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。change.【0031】また、アナログ出力調整回路40の中の差動手段41として、オペアンプ等を用いた差動増幅回路41を用い、差動増幅回路41のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整し、更にゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。差動増幅回路41のオフセット調整用抵抗とゲイン調整抵抗にデジタルトリマ34を用い、デジタル制御手段30により差動増幅回路41の温度補償を行う。これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。likeを用い、加算回路43のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整し、更にゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。加算回路43のオフセット調整用抵抗とゲイン調整抵抗にデジタルトリマ34を用い、デジタル制御手段30によりセンサ信号の温度補償と加算回路の温度補償を行う。this,温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。change.【0033】次に、この一実施形態として半導体圧力センサ駆動回路10の動作について説明する。Typically,半導体圧力センサ20は高感度であるというメリットがある反面、大きな温度依存性を持つというデメリットがある。そこでこの様なデメリットの軽減を図ることを目的として温度補償回路が用いられている。定められた各温度で半導体圧力センサ20の較正を行い、所定温度範囲での圧力センサ20のゲイン調整抵抗値とオフセット調整抵抗値をCPU33に記憶させる。A/Dコンバータ32によって二進コード化したデジタル信号に変換される。変換された信号はCPU33に送られ、CPU33では予め温度較正を行った時に記憶されているデータを基にオフセット調整用抵抗値及びゲイン調整抵抗値を決定する。34,加算回路43と非反転増幅回路42に接続される各端子の抵抗値を変更調整させる。43を用いたセンサ20のオフセット調整と非反転増幅回路42を用いたセンサ20のゲイン調整がなされ、温度補償が行われる。performed.【0035】この様に、本実施形態の駆動回路は、感温抵抗31からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段30を用いてデジタル制御によって実行し、半導体センサ20からの信号の温度補償はアナログ出力調整回路40によって補償している。温度補償制御の様な精密な制御を行おうとした場合には大規模な回路や煩雑なプログラムを必要とするCPU33によるデジタル制御に比べて、小規模で簡素な回路構成でこのような精密な制御を行うことができるアナログ出力調整回路40を設置したことで、センサ駆動回路の構成の簡素化や小規模化を図ることができる。40で行っている為にセンサ20の高感度性を有効に活用できる。CPU33によるデジタル温度補償30のによって自動かつ高速に処理されることで測定の安定性及び信頼性が向上する。高信頼性の圧力測定装置を実現できるといった効果を奏する。/Dコンバータ32とすることができ、低価格化することができる。CPU33にA/Dコンバータ内蔵型を用いることによって、感温抵抗31からのアナログ信号をデジタル信号に変換する為のA/Dコンバータ32の部品占有スペースを省略して回路を簡略化でき、一層の小型化とコストダウンができる。感温抵抗31を半導体圧力センサ20上に作製することによって、同様に感温抵抗31の部品スペースを省略して回路を簡略化でき、一層の小型化とコストダウンができる。[0037]【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、感温手段からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段を用いてデジタル制御によって実行しているので、感温手段の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、回路構成の規模を簡素化できる。これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路を実現できるといった効果を奏する。デジタル制御とすることによって、予め素子の温度較正を行ってその較正値を記憶部に保存し利用することができる。この結果、記憶部に保存されたデータを基にセンサの温度補償を瞬時に行うことが可能となる。on.【0038】請求項2の発明によれば、デジタル補償手段に、デジタル信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有することによって、アナログ回路とデジタル回路とを簡潔に結合している。センサ信号の増幅手段のオフセット調整用抵抗とゲイン調整用抵抗とにデジタルトリマを用いることによって、CPUからのデジタル信号によって増幅手段の温度補償を行うことを可能としている。これによって予め記憶部に記録されたデータを基に各増幅手段のオフセット調整が可能になる。測定精度を要しないデジタルトリマの抵抗値の選択制御にCPUを用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサの温度補償制御や増幅器のゲイン補償とオフセット補償にアナログ出力調整回路を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。複数の増幅手段のオフセット調整用抵抗及びゲイン調整用抵抗を一つのデジタルトリマで構成できるので、従来は各増幅手段毎に必要であったオフセット調整回路及びゲイン調整回路を一括し回路規模を小型化できるといった効果を奏する。reduction.【0039】請求項3記載の発明によれば、請求項1及び請求項2に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、これによって温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を可能としている。増幅手段のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段を用いることにより、増幅手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0040】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃至3に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、更に増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を行っている。これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0041】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃至4に示した効果と同様の効果を奏する。センサの出力を差動手段を用いて検出し、更に差動手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0042】請求項6記載の発明によれば、請求項1乃至5に示した効果と同様の効果を奏する。6記載の発明によれば、センサの出力を差動手段を用いて検出している。増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0043】請求項7記載の発明によれば、請求項1乃至6に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のオフセット調整を行っている。これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0044】請求項8記載の発明によれば、請求項1乃至7に示した効果と同様の効果を奏する。センサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、加算手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。change.【0045】請求項9記載の発明によれば、半導体圧力センサの駆動回路に請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路を用いている。半導体圧力センサは小型でかつ感度が大きいが、一般的には温度依存性が大きいという特徴を有する。請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路では、感度の優れたセンサのアナログ出力をアナログ回路で増幅する手段を用いている。温度補償に関しては、高速な自動制御が可能であるデジタル回路を用いている。デジタルトリマを用いてデジタル回路とアナログ回路の接続を行い、更に補償回路の簡潔化を行っている。その結果、小型かつ高速自動制御かつ高感度を有する圧力測定装置を実現することが可能となるといった効果を奏する。DRAWINGS【図1】本発明の圧力センサ駆動回路の基本構成を説明した機能ブロック図である。invention.【図2】従来例の変位測定装置の構成図である。感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいてセンサの温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサ回路の温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有することを特徴とする圧力センサ駆動回路。感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいて温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサの温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有し、前記デジタル補償手段が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有し、前記デジタルトリマの抵抗値に基づいてセンサ信号の増幅手段のオフセット値の補償とゲイン調整とを行うことを特徴とする圧力センサ駆動回路。センサの出力を増幅する増幅手段と、前記増幅手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ駆動回路。センサの出力を増幅する増幅手段を有し、前記増幅手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至3に記載の圧力センサ駆動回路。センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至4に記載の圧力センサ駆動回路。センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至5に記載の圧力センサ駆動回路。センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のオフセット値の調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路。センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至7に記載の圧力センサ駆動回路。前記センサが、半導体圧力センサであることを特徴とする請求項1乃至8に記載の圧力センサ駆動回路。