310製品概要お問い合わせプロダクト・ウェーハを高スループットで測定パターン認識機能を搭載し、プロダクトウェーハ上100μm以下の微小領域で、任意な測定位置が設定可能です。膜厚検査工程でブランケットウェーハが不要になります。薄膜の膜厚・密度を、大気中・非接触で高スループット測定できます。(15-20WPH)Micro-XRF測定/高精度と高スループットを両立7種類の単色化マイクロX線ビームモジュール「COLORS」をラインナップ。膜種に応じて最適な入射X線源を選択できます。極薄膜測定にも対応し、高精度測定と高スループット測定を両立しました。ダイナミックレンジを持つ超高速検出器を搭載し、これまで困難だった高スループットMicro-XRR測定が可能になりました。高精度測定と高スループットを両立しました。Micro-XRD/各種メタル膜の結晶性測定が可能100μm以下の単色化マイクロX線ビームを用いて、局所的なXRD測定が可能です。Cuメッキ...などのプロセスでも、広範な膜種、膜厚に対応します。ウェーハ面内分布評価200mm、300mmウェーハを4軸試料台に水平支持し、ウェーハエッジまでの全面自動マッピング測定に対応します。低メンテナンスコストにより、年間ランニングコストを低く抑えます。300mmFab対応FabでのスタンダードFOUP/SMIFインターフェースを装備、300mm/200mmウェーハに対応します。様々なAMHSに対応、ホストコンピューターとSECS/GEMプロトコルの対応で、CIM/FAを支えます。パターンウェーハ対応の蛍光X線(XRF)、X線反射率(XRR)およびX線回折(XRD)によるインライン膜厚・密度モニターです。35μm)の単色化マイクロX線ビームとパターン認識機能を搭載し、ダミーパターンやICチップの特定部位などパターンウェーハ上の微小領域を利用して、ALD膜などの薄い膜から配線などの厚い膜まで様々な膜種の膜厚・密度が測定できます。HTP上記以外の製品をお問い合わせに追加する場合、下記より装置の種類をお選び下さい。タロウE-mailアドレス例)info@rigaku.co.jp(英数字半角)こちらのアドレスにお問い合わせ内容の確認メールを送らせていただきますので、お間違いのないようご入力願います。例)042-544-9795(数字半角)ご意見・ご要望(1000文字まで)その他ご意見・ご要望等がございましたら、こちらにお書き添えください。ご記入いただいた個人情報は、本件に関するお客様へのご連絡に利用させていただくことがあります。