米国Foothill社製膜厚測定装置です。シリコンウェーハ上のシリコン酸化膜やレジスト等の透過膜の厚みを非接触にて、簡単にかつ高精度に測定が行えます。最大φ300mm基板まで対応した、自動ステージ及びマッピング機能搭載デモルです。測定膜厚の測定範囲は4タイプあり、最大500μmまで非接触で測定が可能です。基板吸着機能と膜厚測定ポイント・モニタ機能により、基板の反りを抑え、正確な測定位置が確認できます。最大φ200mm基板に対応した、自動ステージ及びマッピングソフト搭載した膜厚測定装置です。各種透過膜に応じた測定プログラムが用意されています。光学定数等を入力し独自の測定プログラムを作成できます。機能を全て省いたシンプルなモデルです。可動ステージも無く、1ポイント測定等の簡易的な用途に適しています。