アーク放電ではなく、レーザースポットにより極小(数百μm)の安定かつ高密度なプラズマを発光・維持する発光方式を採用し、微小エリアへの集光や微細ファイバーへの高い光取込み効率を有します。微小エリアにおける各波長輝度は、キセノンアークランプと比較し優れ、特に真空紫外域(VUV)では約100倍以上の輝度となります。VUV〜NIR領域までの広帯域波長(170nm〜2100nm)かつ、各波長でフラットな出力であるため、1台でさまざまな用途にお使い頂けます。20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99Xはランプハウス内部で発生したプラズマ光を、出力ウィンドウから直接出力するモデルとなります。190nmウィンドウに変更可能です。代表値でありメーカー保証値ではありません。20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99XFCはランプハウス上部の出力用ファイバーから光を出力するモデルとなります。フィルタを搭載しており、190nm以下のDUVをカットする事で、DUVによるファイバーの劣化(ソラリゼーション)を低減するつくりとなります。代表値でありメーカー保証値ではありません。パワーサプライ間の励起レーザー供給にファイバーケーブルを用いたつくりとなります。OEM専用のLDLSでは、励起レーザーはランプハウスに内蔵され、励起レーザー、レーザー光学系およびランプバルブが一体となった効率のよいモデルとなっています。EQ-400(400Wレーザ搭載)として、励起レーザの出力向上により、アウトプット出力を向上させたものをご用意しております。各OEM専用LDLSでは、出力ウィンドウの背部にレトロリフレクタを搭載することにより、アウトプット出力が最大1.4倍向上することが可能です。詳細については、お気軽にお問合せ下さい。