LWBシリーズレジスト自動塗布/現像装置LITHOTRACシリーズに搭載されている高精度ベークプレート、高精度クーリングプレート同等の性能を持ったマニュアルウェーハベーク/クーリング装置です。LWB-03Pマニュアルベーク装置LWB-03/LWB-03H概要マニュアル式の高精度200°Cプロキシミティベーク装置です。LWB-03Hは、最大400°Cまでの仕様に対応いたします。各種基板形状に合わせたベークプレートやリフトピンを用意しています。基板サイズに合わせて4インチ仕様、8インチ仕様、300mm仕様を用意しています。マニュアルクーリング装置ベーク処理後のウェーハ冷却や塗布前のウェーハ温度制御にお使いいただけます。高性能200°Cベークプレートとクーリングプレートを混載したマニュアルベーク装置です。自動搬送仕様モデルは、ベーク処理後にクーリングプレートへ基板を受渡し冷却するため、安全な操作が行えます。PEBの熱履歴管理にも非常に有効です。その他、複数のベークプレートや200°C以上の高温ベークプレート等自由な組合せが可能で、様々なベーク処理や塗布前のウェーハ温調にもご活用いただけます。