Cupシリーズリソスピンカップは、マニュアル装置でありながら自動の塗布処理装置や現像処理装置並みの高いパフォーマンスを発揮します。オートディスペンサ、裏面洗浄等の各種リンス、自動センタリング機構等を標準搭載していますが、さらに必要な機能の追加や不要な機能を除いたりご要望に合わせた独自の仕様でご提供しています。基板サイズは、不定形の小型基板から最大φ450mmウェーハまでマルチに対応させることが可能なモデルを用意しています。化学増幅型レジストから厚膜レジストまで各半導体デバイス製造工程毎に柔軟にカスタマイズできる多機能、高精度なマニュアルスピン塗布装置です。メーカーのプロセス評価用、薬液メーカーや基板メーカーの材料評価用、デバイスメーカーの条件出しや材料選定用として多く採用いただいています。自動装置と同様に吐出ラインの系統数が指定することができ、EBR(エッジビードリムーバ)、BSR(バックサイドリンス)や排気オートダンパがついています。応じた各種オプションを用意しています。基板サイズは、不定形の小型基板から最大φ450mmウェーハまでマルチに対応させることが可能です。800D概要マニュアルのスピン現像装置です。各種現像方式に対応します。有機現像仕様等の各種モデルをとり揃えています。特長ストリームノズル、スリットノズル、スプレーノズル等やプログラマブルスイングアームにより、目的に応じた現像/リンス処理が行えます。1200C概要300mmウェーハまで対応した塗布装置です。450Cもライナップしています。各種プロセスに応じた現像方式に適応できる300mmウェーハ現像装置です。ための条件出しが手軽に行えます。研究開発用途や少量多品種デバイス生産等で使用されています。低価格、コンパクトなマニュアルレジスト塗布装置です。実験や開発用として手軽にハンドディスペンスが行えます。オートディスペンサを搭載することが可能です。200D概要ウェーハをセットした後に、簡単にかつ安全にパドル現像、リンス処理が自動で行えるマニュアルアルカリ現像装置です。Microbalance)基板専用のマニュアルレジスト塗布装置です。通常のスピン塗布装置では難しい極小基板(φ14mm及びφ25mm)に対し、自動ディスペンスによるレジスト塗布が行えます。