開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。électrostatique.(JA)本発明は、低コストで製造でき、かつ、静電チャック本体が薄くても確実にアーキングを防止できる静電チャックの提供を目的とする。本発明の静電チャックは、静電チャック本体1と、アーキング防止部材2と、金属製ベース部材3を備え、静電チャック本体1及び金属製ベース部材3には、複数の冷却ガス用縦穴5が設けられ、アーキング防止部材2は直径20~100μmの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体12及びセラミックス製板状体12を固定する外装部材13からなり、冷却ガス用縦穴5の上部に配置されており、セラミックス製板状体12の厚さが、静電チャック本体1の厚さより厚くなっている。