石英のような無定形状態を有する酸化物半導体が一例である。高分解能TEM像において結晶部を確認することができない。対し、XRD装置を用いた構造解析を行うと、out−of−plane法による解析では、結晶面を示すピークが検出されない。対し、電子回折を行うと、ハローパターンが観測される。対し、ナノビーム電子回折を行うと、スポットが観測されず、ハローパターンが観測される。間の物性を示す構造を有する場合がある。OxideSemiconductor)と呼ぶ。OSは、高分解能TEM像において鬆(ボイドともいう。)が観察される場合がある。高分解能TEM像において、明確に結晶部を確認することのできる領域と、結晶部を確認することのできない領域と、を有する。化が起こり、結晶部の成長が見られる場合がある。良質なnc−OSであれば、TEMによる観察程度の微量な電子照射による結晶化はほとんど見られない。OSおよびnc−OSの結晶部の大きさの計測は、高分解能TEM像を用いて行うことができる。状構造を有し、In−O層の間に、Ga−Zn−O層を2層有する。InGaZnO4の結晶の単位格子は、In−O層を3層有し、またGa−Zn−O層を6層有する、計9層がc軸方向に層状に重なった構造を有する。よって、これらの近接する層同士の間隔は、(009)面の格子面間隔(d値ともいう。)と同程度であり、結晶構造解析からその値は0.29nmと求められている。そのため、高分解能TEM像における格子縞に着目し、格子縞の間隔が0.28nm以上0.30nm以下である箇所においては、それぞれの格子縞がInGaZnO4の結晶のa−b面に対応すると見なした。結晶部の大きさは、0.8nm以上のものを選択的に評価する。OSは、電子の累積照射量に応じて結晶部が大きくなっていく場合がある。具体的には、TEMによる観察初期においては1.2nm程度の大きさだった結晶部が、累積照射量が4.2×108e−/nm2においては2.6nm程度の大きさまで成長している場合が確認された。晶部の大きさに変化が見られないことが確認された。OSおよびnc−OSの結晶部の大きさの変化を線形近似して、電子の累積照射量0e−/nm2まで外挿すると、結晶部の平均の大きさが正の値をとることが確かめられた。OSおよびnc−OSの結晶部が、TEMによる観察前から存在していることがわかる。CAAC−OSのうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。0299酸化物半導体が複数の構造を有する場合、ナノビーム電子回折を用いることで構造解析が可能となる場合がある。用いて、物質の透過電子回折パターンを測定する方法がある。物質の構造が変化していく様子を確認できる場合がある。このとき、物質がCAAC−OSであれば、c軸配向を示す回折パターンが観測される。物質がnc−OSであれば、リング状の領域内に複数のスポットが観測されるような回折パターンが観測される。0301ところで、物質がCAAC−OSであったとしても、部分的にnc−OSなどと同様の回折パターンが観測される場合がある。囲におけるCAAC−OSの回折パターンが観測される領域の割合(CAAC化率ともいう。)で表すことができる場合がある。良質なCAAC−OSであれば、CAAC化率は、50%以上、好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上、より好ましくは95%以上となる。一定の範囲におけるCAAC−OSと異なる回折パターンが観測される領域の割合を非CAAC化率と表記する。0302一例として、成膜直後(as−sputteredと表記。)のCAAC−OSを有する試料、および酸素を含む雰囲気における450°C加熱処理後のCAAC−OSを有する各試料を作製し、各試料の上面に対し、スキャンしながら透過電子回折パターンを取得した。測された回折パターンを0.5秒ごとに静止画に変換することで、CAAC化率を導出した。電子線としては、プローブ径が1nmのビームを用いた。同様の測定は6試料に対して行った。CAAC化率の算出には、6試料における平均値を用いた。率は75.7%(非CAAC化率は24.3%)であった。450°C加熱処理後のCAAC−OSのCAAC化率は85.3%(非CAAC化率は14.7%)であった。成膜直後と比べて、450°C加熱処理後のCAAC化率が高いことがわかった。高い温度(例えば400°C以上)における加熱処理によって、非CAAC化率が低くなる(CAAC化率が高くなる)ことがわかった。500°C未満の加熱処理においても高いCAAC化率を有するCAAC−OSが得られることがわかった。ページトップへこの技術を出願した法人この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInこの技術を発明した人物この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInページトップへ関連する挑戦したい社会課題この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedIn交通渋滞のない社会を実現する交通渋滞のない社会を実現すると、移動時のストレスがなくなり、廃棄ガス量の減少など環境問題の解決にも大きく貢献します。交通渋滞によって生じる経済的な損失は非常に大きく、2017年には国内だけで年...最終更新日:2018/06/18手足の欠損や麻痺をおぎなう社会を実現する手足の欠損や麻痺をおぎなうことが出来ると、日本国内だけでも約200万人の対象者とその家族の生活を快適にすることができます。