このシステムを用いることにより、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行なえます。リソグラフィ・シミュレータに必要なレジスト・モデリング・パラメータを正確に決定することができます。樹脂の溶解速度の測定が可能です。樹脂の品質管理に最適な装置です。樹脂の溶解速度の測定がスピン方式の現像で可能です。樹脂の品質管理に最適な装置です。標準仕様RDA-790概要フォトレジストの現像速度評価が可能です。γ値、コントラストカーブ、表面難溶化パラメータ、現像パラメータの算出が可能です。高Rmax対応RDA-800概要フォトレジストの現像速度評価が可能です。γ値、コントラストカーブ、表面難溶化パラメータ、現像パラメータの算出が可能です。)レジストにも対応可能です。有機/アルカリ現像対応モデルRDA-800Twin概要フォトレジストの現像速度評価が可能です。γ値、コントラストカーブ、表面難溶化パラメータ、現像パラメータの算出が可能です。より、ArFレジストの様な高Rmaxレジストにも対応可能です。現像槽を2基搭載しており、アルカリと有機溶剤にそれぞれ対応できます。nm)RDA-800TwinQCM対応レジスト現像速度測定RDA-Qz3概要QCM(クォーツ・マイクロバランス)法を用い、現像するレジスト膜の質量変化を測定する現像アナライザー。