层的结晶性,用X线衍射进行评价。grown基板温度44(TC,以lum/hr的成长速度,最初,在GaAs基板上直接MBE成长了0.7ym的各种Al组成的AlInSb层。AlInSb的X线衍射的半幅值(FWHM)。AlInSb的晶格常数与FWHM的测定采用使用了4结晶单色器的X线衍射装置。FWHM尽可能在1,OOO秒以下较好,500秒以下非常好。表面平坦性也要好,这是必要的。以下好,lnm以下更好。