シミュレーション・ツールは実世界の近似で、リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないものです。以下のようなシミュレータをラインアップしています。X6概要リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。editions※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。設定が簡単にでき、これらにより、FinFET、STI層、インプラント層上でのレジスト形状のシミュレーションを、より正確に予測することを可能にします。Imageクリックすると拡大しますCD解析ソフトウェアProDATA概要ProDATAはお持ちのデータを素早く簡単に解析することができるツールです。ProDATAは実測データでもシミュレーションデータでもコントラスト曲線、スイングカーブ、FEMを解析します。これらの結果を基に、プロセスの決定を行なう事ができます。editions※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。