フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。ラインアップしています。お客様のニーズに合わせて、これからも新たな評価装置を提案していきます。PAGA-100概要FT-IRスペクトロメータに露光機能、ベーク機能を搭載し、露光中のPAGの分解や、PEB中の保護基の脱離の様子を観察します。リソグラフィ・シミュレータで必要な脱保護反応パラメータの算出が可能です。光強度計算にKirchhoff回折理論を用いて回折の計算を行ない、実測の現像速度と組み合わせて現像後のレジスト形状を計算する、MEMS用露光機対応プロキシミティ・リソシミュレータです。