シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能(オプション)としました。ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。0~45*ご注文時に使用電圧をご指定ください。*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。0~195*ご注文時に使用電圧をご指定ください。*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。1データダウンロードカタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。ユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。