W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。高生産性、省エネルギーを実現し、次々世代以降も対応可能な拡張性を誇るハイエンドモデルのスパッタリング装置です。当社独自の技術による微細配線用の最先端PVD、CVD、ALDモジュール等、多彩なラインナップでお客様のニーズにお応えします。高い生産性ウェハの搬送速度が従来比で60%UP。薄膜制御性に優れ、EES対応も可能。性能は膜種により異なります。