l'air.(JA)コイルの発熱に起因する問題を生じさせずに真空中で使用することが可能なリニアモータ機構および二軸ステージを提供する。具体的には、真空チャンバ10内に固定子および可動子が配置されるリニアモータ機構1であり、固定子であるコイル3と、可動子である磁石5と、を備え、コイル3を内包するコイル保持部2が真空チャンバ10に固定され、真空チャンバ10は開口部13を有し、開口部13を介してコイル保持部2の一部が外気に露出している。