シリーズ車載ミラー、樹脂成型品など小型部品の生産工程の一貫自動化に対応したロードロック式スパッタリング装置です。2ステージ仕様のSPH-320/320M、4ステージ仕様のSPH-340Mをラインナップしております。搬送方法が選択できます。樹脂製品に必要な前処理機構(*1)、複層成膜に必要な雰囲気分離(*2)、製品タクトに合わせた排気系増強、3D形状の全周面成膜が可能となる自転治具機構(*1)など幅広いオプションを設定しております。