デバイス業界チップLEDの蛍光剤の注入高さ測定チップLED製造におけるワイヤボンディング後のポッティングモールド(ポッティング)工程では、粉状の蛍光体と樹脂を混合した「蛍光剤」をディスペンサで注入します。注入した蛍光剤の高さをインラインで測定することで、キャスティング前に素子の品質を全数検査します。3D変位計の詳細を見る従来の課題スポット照射するタイプの1次元レーザ変位計を用いて測定していました。注入時に発生する蛍光剤界面のくぼみ(高低差)や、その最も低い箇所(ボトム)を正確に測定することができませんでした。採用した3D変位計は、インラインで瞬時に「面」の高さを一括測定します。対象物の材質による影響を受けず、三角測距法の課題だった死角が生じないため、注入した蛍光剤の表面も安定して測定可能です。測定エリア内の高さ測定したいポイント(ボトムなど)を自動算出しながらの検査が可能です。それにより、自動全数検査の正確さを大幅に向上させることができます。自動全数検査のさまざまな課題を3次元検査で解決します。詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。Reserved.tcm:106-1843509-64。