オプション試料台スピンコートしたい基板をのせるための台アクティブスピンコーターを使用するのに必須の受注生産品です。基板の厚みやサイズ、真空吸着の有無等により適切な試料台が異なるため、打ち合わせ後製作いたします。材質はPOM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミから適切な素材を選定いたします。アルミはテフロンコーティングを施すことも可能です。複数の基板を回したい場合は、サイズによっては兼用できますが、必要に応じて複数の試料台をご購入いただいております。試料台は後から追加でご注文いただくことも可能です。真空ポンプ基板を真空吸着するためのポンプアクティブスピンコーターを使用するのに必要な基板吸着用の真空ポンプです。基板のサイズ等により必要な排気量が異なります。アクティブスピンコーターと簡単に接続できるよう接続口を改造してあり、透明ウレタン製Φ6mm真空チューブが3m付属します。真空吸着でない手法でスピンコートすることも可能です。安全カバー電磁ロックレシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない標準仕様でもインターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)がついていますが、更に安全性を求める場合はこちらのオプションをお選びください。レシピがスタートすると終了するまで安全カバーがロックされ開かなくなるので安心です。テフロンコーティング耐薬品性を向上させるテフロンコーティングステンレス製(ミガキ#400標準)のカップ・インナーカップにテフロンコーティングを施すことで耐薬品性を向上させることが可能です。ご使用の溶剤、コーティング液に応じてご選択いただくオプションとなります。ステンレス製(ミガキ#400標準)の本体外装カバーのテフロンコーティングもご要望がございましたらお受けしておりますのでご相談ください。φ100mmよりも大きな基板をスピンコートする際にお勧めしているオプションとなります。センターリング簡易治具は基板を試料台に正しくセットするのをサポートする道具です。スピンコーターは回転により塗膜を生成する為、中心がずれると成膜に影響がでやすい傾向にあります。よい塗膜を得るのにあると便利な治具になります。滴下ユニット溶液を滴下するユニットスピンコートする溶液や、洗浄水を滴下するユニットです。スピンコーター用です。仕様よりも高回転・高精度にアップグレード標準機の仕様よりも回転数が欲しいなど、ご希望があればより強力なモーターを搭載することも可能です。特注仕様となりますので、詳細をお伺いしつつ適切なスピンコーターを設計製作いたします。希望に合わせて安価に設計・製作お客様の目的や要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。ボックス分離式、スピン乾燥、スピン洗浄、スピンエッジング・・・など、まずはご希望をお聞かせください。詳細はスピンコーター特注機にてご案内しております。